Al2O3掺杂ZnO基高选择性丙酮气体传感器.PDF

第 45 卷第 1 期 硅 酸 盐 学 报 Vol. 45 ，No. 1 2 0 1 7 年 1 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY January ，2017 DOI ：10.14062/j.issn.0454-5648.2017.01.15 Al O 掺杂ZnO 基高选择性丙酮气体传感器 2 3 1 1 1 2 1 郭学海 ，潘国峰 ，李祥州 ，何 平 ，杨 帆 (1. 河北工业大学电子信息工程学院 天津市电子材料与器件重点实验室 天津 300130 ； 2. 河北工业大学计算机科学与软件学院 天津 300130) 摘 要：采用溶胶−凝胶法，制得 Al O 掺杂质量分数分别为 0、2.96% 、4.96% 、6.96%的纳米Al O -ZnO 粉体，样品经 700 ℃ 2 3 2 3 退火后对其物相及表面形貌进行表征，测试了不同 Al O 掺杂量 Al O -ZnO 样品的气敏特性，研究了结晶粒径、掺杂浓度、 2 3 2 3 工作温度等对元件气敏特性的影响；通过对元件进行控温控湿老化实验，研究了老化温度、相对湿度对元件稳定性的影响； 并根据气体吸附、脱附模型与半导体能带理论，对气敏机理进行了进一步的讨论。结果表明：Al O -ZnO 对丙酮表现出良好 2 3 的选择性和稳定性，掺杂为4.96% Al −6 O 的Al O -ZnO，经 700 ℃退火后，在 64 ℃下，对含量为 100×10 (体积分数)丙酮的 2 3 2 3 −6 灵敏度为 29.24，响应时间和恢复时间均为 2 s；丙酮含量低至 10×10 时，灵敏度为 3.23，响应时间和恢复时间分别为 4 s 和 7 s 。 关键词：氧化锌；氧化铝掺杂；丙酮；选择性 中图分类号：TP212 文献标志码：A 文章编号：0454–5648(2017)01–0106–07 网络出版时间： 网络出版地址： Al O -doped ZnO Nanoparticles for Selective Acetone Ga