渗碳气氛中参比测量.PDFVIP

渗碳气氛中的参比测量 深 渗碳工艺控制中最重要的参数就是气氛的温度和碳势。温度通常可由热电偶（温度传感器）测得。 而对于碳势的控制，则可以采用现场氧探头和 Lambda 探头（L-sonde）通过对炉内气氛的氧分压进行测 量来完成。但是无论是热电偶还是氧探头在残氧测量中其精度都会慢慢降低。因此，要想实现精确控制， 则必须通过参比测量来调节温度和碳势。本文将分别就热电偶和氧探头以及 Lambda 探头（L-sonde）导 圳 致测量结果不准确的原因作出分析和解释，同时就如何采用参比测量校正测量结果进行详细说明。另外， 参比测量中需要注意什么，参比测量提供什么信息，以及如何通过气体分析仪来对炉内气氛进行分析，都 将一一探讨。第一部分着重介绍如何将气体分析作为碳势参比测量的手段。 市 渗碳工艺控制中最重要的参数就是气氛的温度和碳势。为了得到精准的可重复的结果，这些参数必 须尽可能的精确。由于老化或者其它可能导致误差的原因，探头和传感器所给出的测量数据有可能不准确 甚至是错误的。因此，为了校正这些测量结果，必须采用参比测量。否则，控制所需的结果不能被认可接 倍 受。温度通常可由热电偶测得。而对于碳势的控制，则可以采用现场氧探头和 Lambda 探头（L-sonde） 通过对炉内气氛的氧分压进行测量来完成。下文将介绍传感器测量误差的原因。 一， 使用热电偶进行温度测量时出现误差的原因。 拓 使用热电偶进行温度测量是现有工艺中的常用做法。必须再次强调热电偶仅测量温度差异。一般可 以采用管夹温度作为参比。由于接头暴露于不断变化的环境温度中，管夹温度的变化也会导致测量误差。 避免这种误差有几个不同的方法。最常用的方法是记录结温（接合点温度）也称为接合点温度补偿，或者 使用接合点恒温器来保持接合点的温度为一个恒定值。 科 热电偶的温度一致性和长期稳定性与其材质时效有非常重要的关系。由于材质老化，热电偶的热电 特性会出现变化，因此热电电压 K 也会变化。这是指的热电偶漂移。热电偶的漂移主要取决于以下： 漂移取决于温度。越接近溶合点，金属中的原子扩散速度就越快。在这种情况下，外部原子 会很容易移入热电偶内。因此，两个温度感应臂是由相同的外部原子熔铸的，其热电性能增 技 加，热电电压降低。 原子的扩散长度与热电偶线直径之间的比率越小， 漂移取决于所用热电偶线的直径。所分布 漂移越小。 漂移高度取决于现有气氛。强还原大气条件特别是强氧化气氛可以充分的稳定漂移。 除了热电偶老化以外，还有很多其它因素比如热力，机械力，大气以及电力影响到温度测量的准确 有 性。K 型热电偶常用于温度控制。在渗碳气氛中使用这种热电偶经常会导致如下错误。 铬减损以及绿霉：特别是在含CO和CO2 ，有相符水份率，温度介于 800-1000°C之间的还原性 气氛中，可以在镍铬处观察到铬的选择性氧化。随着铬萃取，热电电压K会不断降低，所显示 的温度值会低于实际温度。如果不及时更换热电偶的话，铬的不断损耗会最终导致破裂，通常 限 发生在镍铬线焊接点处。破裂处发出淡绿色的光，因此命名为绿霉。。 K 状态：是不同温度条件下合金里晶格单元的有序或者无序状态。如果镍铬镍热电偶高于 600°C ，镍铬面单一晶格单元会处于无序状态。在热电偶的慢慢冷却过程中，K 状态发生，意 公 味着晶格单元变为有序，热电电压会出现 3°C 的误差 二， 热电偶的定期检测： ISO9000