ProceedingsoftheIEEE-北京金属学会.docVIP

激光诱导击穿光谱法判断汽车板表面划痕缺陷 屈华阳,胡净宇,赵雷,韩鹏程,陈永彦,刘佳,张勇，贾云海 （钢铁研究总院，北京 100081） 关键词：激光诱导击穿光谱（LIBS）；；；中图分类号：O433.5+4 文献标识码：A 1 实验部分 1.1 及工作条件 NCS LIBSOPA-100激光光谱原位分析仪（纳克有限公司） Continuum Surelite 激光系统氙灯泵浦固体Nd-YAG调Q激光器真空光学系统帕刑-龙格架法，高发光全息光栅光电转换器件光电倍增管（PMT）参数表 1表 1 LIBSOPA-100的工作Table 1 Operation parameters of LIBSOPA-100 参数 Parameter 参数 Parameter 激光波长 nm 1 064 光栅焦距 mm 750 激光脉冲宽度 ns 5~8 光栅分辨率 nm 优于0.01 激光能量 mJ 90~900 光栅刻线条/mm2 400 脉冲频率 Hz 1~10 谱线范围 nm 120~800 峰值功率/mJ 900 聚焦透镜焦距mm 100 1.2 检测元素及波长 仪器通过高分辨率光栅分光，分光系统采用帕刑-龙格架法，可以同时检测28种元素信号，常用的元素及相关检测波长如下： 表 Table 2 Wavelength of