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微型可编程相位光栅的理论特性研究-中国科技论文在线.PDFVIP

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  • 2018-12-13 发布于天津
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微型可编程相位光栅的理论特性研究-中国科技论文在线.PDF

    微型可编程相位光栅的理论特性研究-中国科技论文在线.PDF

    第23卷第1期 仪 器 仪 表 学 报 Z002年2月 微型可编程相位光栅的理论特性研究 ‘ 陈非凡 李云龙 殷 玲 (清华大学精密仪器系 北京 100084) 摘要 本文提 出了一种基于微光机 电系统 (MOEMS)的新型可编程相位光栅技术 ，并对其工作原理和理论特性进行 了分析和研 究，同时给出部分散值仿真结果 t并得 出了一些重要的结论 。 关键词 可编程相位光栅 微光机 电系统 (M0EMs) 光谱技术 Research on the 1heoreticalCharacteristics of M icro Programmable Phase GratingTechnology

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