缝宽或间隙的衍测量.pptVIP

缝宽或间隙的衍射测量 一、实验目的： 了解激光衍射计量原理 利用间隙计量法测量缝宽 二、实验原理 激光衍射计量的基本原理是利用激光的夫朗和费衍射效应。夫朗和费衍射是一种远场衍射。衍射计量是利用被测物与参考物之间的间隙所形成的远场衍射来完成。 衍射计量的基本公式 实验光路 实验步骤 激光不扩束，光路中插入反射镜4及13 将分光镜14转90o，18上试件夹上放黑纸屏或取消试件夹，让透射光逸至试验平台 切换试件夹19中的衍射试件(可调狭缝，光刻片狭缝系列) 移动CMOS23使计算机图像清晰，锁定23 利用程序记录狭缝系列对应一级、二级、三级衍射条纹间距 更换不同狭缝，实现定标和计量 衍射试件缝宽及小孔直径（图中尺寸单位为毫米） 实验表格（其中R=180mm，?=632.8nm） 衍射实验图像 * * 杨杞 1.激光器 2.衰减器 3.定向孔 4.移动反射镜 12.反射镜 14.分光棱镜 19.衍射试件夹 20.成像透镜 23.光电接收器 24.导轨 3 2 1 W Xn 衍射级数（n） *