辉光放电glow-discharge.pdfVIP

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2018-10-13 发布于江苏
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直流辉光放电与射频辉光放电 DC and RF glow discharges By WenQi LU 9/19/2005 Contents in last lecture 等离子体及其温度(for cold plasma, the temperatures are different for ions, electrons and neutral particals) 德拜屏蔽，鞘层，德拜长度 λD = ( kTe∑ 0 1/ 2 2 ) nee Bohm鞘层判据 kTe 1/ 2 u (0) ( ) mi κiDe + κeDi 双极性扩散 Dd κi + κe ne 2 1/ 2 ne 2 1/ 2 ωi = ( ) 等离子体振荡ωe = ( meε0 ) ≈ 9000 n ( Hz ) mi∑ 0 (for the typical DC glow discharge plasma, ⎤e is in Gigahertz order while ⎤i is in megahertz order) 气体放电的分类击穿电压无规则脉冲电流气体的击穿— 帕邢定律 BPd Vs APd ln( ) 1 ln γ 上式称为帕邢定律，表示击穿电压Vs 是气压 P 与极间距离d 乘积的函数。其中A和B为常数，γ 表示一个正离子撞击阴极表面时平均从阴极表面逸出的电子数目（二次电子发射）。图示为实验测得的曲线。注意对应不同Pd ，Vs 有一极小值。直流辉光放电放电区的结构和分布阴极区阳极暗区阴极区由Aston暗区，阴极辉区和阴极暗区（或称克罗克斯暗区）三部分组成。极间电压大部分加在这里，电子被加速与气体原子碰撞，使原子激发或电离。电流密度直流辉光放电放电区的结构和分布负辉区负辉区是电极