制作微孔陶瓷研磨盘应用於单晶氧化铝硬脆材之磨削加工研究探讨.PDF

製作微孔陶瓷研磨盤應用於單晶氧化鋁硬脆材之磨削加工研究探討 1 2 3 4 5 *陳學安 林風經 何鑽棠 蔡明義 陳秋元 1 國立勤益科技大學機械工程系 研究生 2 國立勤益科技大學機械工程系 研究生 3 國立勤益科技大學機械工程系 研究生 4 國立勤益科技大學機械工程系 教授 5 國立勤益科技大學機械工程系 專任助理 摘 要 本研究為提升單晶氧化鋁(α-Al O )硬脆材料磨削(grinding)加工效能而開發微孔陶瓷研磨盤，從陶瓷材料 2 3 選用與燒結特性、陶瓷研磨盤製作及加工參數探討，希冀其開發研究能為業界及學術界於單晶氧化鋁硬脆材 料磨削加工效益有所貢獻。本研究針對微孔陶瓷研磨盤開發為二大部分，其一、以最佳燒結製程開發