压电微操作平台的复合控制!-振动测试与诊断.PDF

第 卷第 期 振动测试与诊断 年 月 压电微操作平台的复合控制 胡俊峰 杨明立 郑昌虎 江西理工大学机电工程学院 赣州 摘要 由于压电驱动器的迟滞现象会使微操作平台出现非线性问题严重影响了其运动精度和重复定位精度为 了解决该问题提出一种前馈补偿同反馈调节相结合的复合控制算法联合离散 模型与支持向量机建立 反映平台迟滞现象的理论模型基于该模型采用迭代搜索方法得到离散 逆模型根据该逆模型对平台进 行前馈补偿反馈调节采用比例 积分 微分 简称 控制以校正前馈补偿无法消 除的偏差及由模型不确定性所引起的误差为了说明所提出的控制方法的可行性对复合控制前馈控制和 进行实验验证比较分析实验结果表明所提出的控制方法具有更好的控制精度和响应快速性 关键词 微操作平台压电驱动器 逆模型复合控制支持向量机 中图分类号 控制自适应控制神经网络控制及模糊控制 引 言 等刘国华等 提出一种联合神经网络和模糊 控制策略提高了一种微定位平台的定位精度和响 目前微操作平台在精密加工微机电系统生 应速度但 神经网络在训练过程中存在局部极 物工程及光学工程等领域应用越来越广泛 压 小值及过学习等问题特别是样本数较少的情况下 电陶瓷驱动器具有响应快精度高等优点被广泛应