传感器技术课件——敏感元件与传感器技术.ppt

第4章 敏感元件与传感器技术 智能式传感器 智能传感器作为一种新型传感器发展起来。它是基于人工智能、信息处理技术实现的具有分析、判断，量程自动转换，漂移、非线性和频率响应等自动补偿，对环境影响量的自适应，自学习以及超限报警、故障诊断等功能的传感器。 智能传感器就是一个最小的微机系统，其中作为控制核心的微处理器通常采用单片机，其基本结构框图如图示。 微型传感器 MEMS（Micro Electro-Mechanical System）通常称微机电系统，在欧洲和日本又常称微系统（Micro System）和微机械（Micro Machine），是当今高科技发展的热点之一。1994年原联邦德国教研部（BMBF）给出了微系统的定义，即：若将传感器、信号处理器和执行器以微型化的结构形式集成一个完整的系统，而该系统具有“敏感”、“决定”和“反应”的能力。 微机电系统通常具有以下典型的特性： （1）微型化零件； （2）由于受制造工艺和方法的限制，结构零件大部分为两维的、扁平零件； （3）系统所用材料基本上为半导体材料，但也越来越多地使用塑料材料； （4）机械和电子被集成为相应独立的子系统，如传感器、执行器和处理器等。 与一般传感器比较，微传感器具有以下特点： （1）空间占有率小。 （2）灵敏度高，响应速度快。 （3）便于集成化和多功能化。 （4）可靠性提高。 （5）消耗电力小，节省