二氧化钒薄膜的制备及其在太赫兹器件中的应用-材料科学与工程专业论文.docxVIP

  • 12
  • 0
  • 约3.91万字
  • 约 61页
  • 2018-10-29 发布于上海
  • 举报

二氧化钒薄膜的制备及其在太赫兹器件中的应用-材料科学与工程专业论文.docx

二氧化钒薄膜的制备及其在太赫兹器件中的应用-材料科学与工程专业论文

独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研 究成果。据我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他 人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构 的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均 已在论文中作了明确的说明并表示谢意。 签名: 日期: 年 月 日 关于论文使用授权的说明 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定,有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘, 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 (保密的学位论文在解密后应遵守此规定) 签名: 导师签名: 日期: 年 月 日 摘 要 摘 要 二氧化钒(VO2)薄膜在 68℃附近会由单斜结构的半导体态相变为四方结构 的金属态,同时伴随着电阻率、磁导率、光透射率和反射率的巨大突变。这种电 磁性能的突变在微波和光学领域已经得到广泛的应用。最近,VO2 薄膜在太赫兹 频段的应用受到关注。太赫兹是介于微波与红外波段之间的一段特殊的电磁波谱, 被国际上誉为下一代信息产业的科学技术基础,其独特的优越性已普遍被人认识。 推动 THz 技术的实际应用,需要提供很好的 THz 功能器件。然而,跟微波和光波 段不同,自然物质对太赫兹波缺乏有效响应,已有电子器件和光学器件均无法实 现太赫兹的有效传输和控制。太赫兹材料和器件的研制已成为太赫兹领域亟待解 决的关键问题之一。本论文正是在此背景下,提出将相变材料与人工电磁结构相 结合,设计和研制实用化的太赫兹关键功能器件。 本文首先采用射频反应磁控溅射技术制备高品质的二氧化钒薄膜。使用四探 针电阻测试仪、X-射线衍射分析仪、原子力显微镜对二氧化钒薄膜的各种特性做 了细致的分析。讨论了磁控溅射过程中氧分压、溅射温度及溅射功率对薄膜质量 和性能的影响,获得最佳制备工艺,制备出电导率变化达到 3-4 个数量级的高质量 VO2 薄膜。 电磁超材料(Metamaterial)是指一类具有天然材料所不具备的超常电磁性质的 人工复合结构或复合材料。本论文通过将二氧化钒薄膜与人工电磁材料相结合设 计可调谐的太赫兹功能器件。通过软件仿真设计出太赫兹吸收器和调制器结构, 之后利用磁控溅射技术及光刻技术制备出具体器件。利用太赫兹时域光谱测试了 器件性能,其中太赫兹吸收器实现了吸收幅度在 40%-80%之间可调,而太赫兹调 制器的调制幅度则达到 70%以上。本论文的研究显示了 VO2 相变材料在太赫兹功 能器件应用上的巨大潜力。 关键词:磁控溅射,二氧化钒薄膜,相变,电磁超材料,太赫兹,器件 I ABSTRACT ABSTRACT It is known that vanadium dioxide undergoes a remarkble, thermally induced, reversible semiconductor-to-metal phase transition around 68°C, resulting in great changes in its resistivity, magnetic permeability and optical properties. This kind of change of optical and electrical properties has been widely used in many fields, Recently, the application of VO2 film in the terahertz band received extensive attention.Terahertz is a special period of the electromagnetic spectrum between microwave and infrared. Terahertz known as the science and technology basis of the next generation of Information Industry in the international arena, its unique superiority has been understood generally. We have to provide terahertz functional devices to promote the practical application of terahertz technologie

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档