半导体电火花多线切割的放电特性与控制方法研究.PDF

电火花线切割加工 339 16C0 半导体电火花多线切割的放电特性 与控制方法研究 李璇，罗福源，王成 （ 南京航空航天大学机电学院，江苏南京 210016 ） 摘要：针对使用传统单根电极丝电火花线切割机床进行半导体切片所存在的加工效率低下 的问题，提出一种采用多根电极丝的电火花多线切割技术。以三电极丝为例，介绍了自行 研制的电火花多线切割机床的工作原理与设计方案，建立了电火花多线切割放电加工电路 模型，分析了工作液电阻对加工的影响。对多线放电加工过程进行了研究，分析了异步脉 冲放电与同步脉冲放电的对加工表面质量的影响。根据同步脉冲放电加工中各电极丝切割 能力差异的分析，提出了异脉宽、等周期同步放电控制方法并进行了控制系统编程与加工 试验。试验表明，提出的方法能够有效调节各电极丝的加工速度，实现同步协调进给，并 且加工效率显著提升，三线同时切割的加工效率是传统电火花单线切割效率的2.79 倍。 关键词：半导体；电火花多线切割；工作液电阻；同步脉冲放电 目前，太阳能已经成为备受关注的绿色能源产业。但作为当前应用最广泛 的太阳能电池材料— — 晶体硅 的切片技术发展尚未成熟[1] 。传统的外圆和内圆切割不能满足现有硅片大尺寸化、薄片化、 高效率化的生产要求；线锯切割虽然成为了当前市场的主流切片方法，但其有直接的切削力，使切 片表面产生切痕、损伤层厚度较大，适合切割的硅片厚度范围较小[2] 。而且高档多线切割机床多依 赖于进口，生产成本高；而电火花加工是利用脉冲放电产生电蚀现象去除材料的一种加工方法，加 [3] 工过程中不存在宏观切削力，非常适合加工硬脆 的半导体材料 。但传统 的电火花线切割机床都仅 [4] 有一根电极丝，单次加工只能切割出一个硅片，加工效率远远低于线锯切割 。为了提高电火花线 切割的切片效率，本文提出一种针对半导体材料切片加工的电火 多线切割技术[5] 。该技术主要是 在电火花线切割的基础上引入多线放电切割技术，实现多根电极丝同时放电，使一次性可加工出的 硅片数量随着电极丝数量的增加而等倍递增，从而有效地提高硅片切割的效率。 1 电火花多线切割机床 为实现多根电极丝独立放电加工，需对传统的电火花线切割机床重新布局设计，尤其需要对其 中的运丝机构与高频电源进 技术改造。新研制的电火 多线切割机床结构如图 1 所示。设计方案 主要是利用三段式绝缘储丝筒分别存储 3 捆 电极丝，经过电极丝换向装置整合到悬臂梁末端，再通 过上下悬臂梁前段多槽导轮形成相互平 的3 竖丝，经过下悬臂梁整合到换向装置，最后回到三段 式绝缘储丝筒。由此形成了3 捆丝同时运 ，但相互独立的竖直加工区域。 为保证在加工过程中各电极丝放电能量的供给不产生相互干扰，实现在电路上的相互独立，除 了各电极丝需配备独立的电源外，还需要对与电极丝接触的机床部件进行充分的绝缘处理：储丝筒 采用三段式绝缘储丝筒结构，各个电极丝接触的导轮均采用塑料底座，并在多线槽导轮的轮槽表面 喷覆高耐磨性绝缘涂料。 340 第 16 届全国特种加工学术会议论文集 （上） 1. 机床底座 2. 储丝筒支座 3. 三段式绝缘储丝筒 4. 电极丝换向装置 5. 立柱 6. 电极 7. 多槽导轮 8. 上悬臂梁 9. 下悬臂梁