一种Intrabay物料运输系统的多目标实时调度方法.PDF

一种 物料运输系统的多目标实时调度方法——— 吴立辉 朱登洁 张 洁 Ｉｎｔｒａｂａ 　 　 　 ｙ 一种Ｉｎｔｒａｂａ 物料运输系统的 ｙ 多目标实时调度方法 吴立辉１ 朱登洁１ 张 洁２ 　 　 　 ， ， ， ， 河 南工业 大 学 郑 州 上海交通 大 学 上海 １． ４５０００７ ２． ２００２４０ 　　 ： （ ） ， 摘要 为 了提 高晶 圆制造 Ｉｎｔｒａｂａ 物料 运 输 系统 简称 Ｉｎｔｒａｂａ 系统 的 多目标 调 度 性能 提 出 了 ｙ ｙ 一种基于模 糊逻辑 － 匈牙利 方法 的 Ｉｎｔｒａｂａ 系统多目标 实时调 度方法 。该 方法实时响应 运 输 小车空 ｙ ， 。 载和 晶 圆卡请 求运 输等动态 事件 并对 各 事件 时刻 的 Ｉｎｔｒａｂａ 系统调 度 子 问题进 行 多目标 优化 求 解 ｙ ， 采用 ３００ｍｍ的 晶 圆制造系统数 据进 行 仿真 实验并与 传 统 的 Ｉｎｔｒａｂａ 系统调 度方法 进 行 比较 结 果 表 ｙ 明该 方法在 Ｉｎｔｒａｂａ 系统和 晶 圆加工 系统的 多个指标 综合性能 方 面优于 传 统 Ｉｎｔｒａｂａ 系统调 度方法 ， ｙ ｙ 验证 了 Ｉｎｔｒａｂａ 系统多目标 实时调度方法 的有效性 。 ｙ ： ； ； ； ； 关键词 晶圆制造 Ｉｎｔｒａｂａ 物料运输系统 调度 多目标 实时 ｙ 中图分类号： ： ／ ＴＨ１６６ ＤＯＩ １０．３９６９ ．ｉｓｓｎ．１００４－１３２Ｘ．２０１３．０６．０１３ 　　　　　　 ｊ Ａ Ｍｕｌｔｉ－ｏｂｅｃｔｉｖｅＲｅａｌ－ｔｉｍｅＤｉｓ ａｔｃｈｉｎ Ａ ｒｏａｃｈｆｏｒＩｎｔｒａｂａ ＭａｔｅｒｉａｌＨａｎｄｌｉｎ Ｓｓｔｅｍｓ 　 ｊ 　 　 ｐ ｇ ｐｐ 　 　 ｙ 　 ｇ ｙ 　 　 　 １ １ ２