垂直扫描白光干涉术用于微机电系统尺寸表征3.PDFVIP

第 27 卷 　第 4 期 光 　学 　学 　报 Vol. 27 ,No. 4 2007 年 4 月 　　　 　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　April , 2007 ACTA OP TICA SIN ICA 文章编号 : (2007) 0406685 垂直扫描白光干涉术用于微机电系统的尺寸表征 郭 　彤 　胡春光 　陈津平 　傅 　星 　胡小唐 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 , 天津 300072) 摘要 : 　随着微机电系统的发展 ,器件设计和加工过程中的表征成为一个主要问题。提出了将扫描白光干涉表