- 1、本文档共59页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
under
dlt士erent
deposition the
t锄peramres.、矾thtllicknessanddielectric
constantof
theAl,01
nlms
measured
the
by surface and
profilometer the
e11ipsometer,we ALD
got regulardeposition
rateof0-l for
6肋讹ycleA1203 the
film.By ALDand
comparing modulated
pulse RFenhallced
isfoundthat
ALD,it me of can
appIying notincrease
plasma the rate
deposition the10w
during
the
‘锄perature【underlowest
regular of
d印osition
temperanlreALD).Becausewhenbelowthe
lowest
threshold and
temperature,ALD
plasmaenhancedALDcan
boththicker
filmsthan
get the
theoretlcal the
Value,and film notbe
d印osited theatomic
may layer to
structure.Accordin2the
is
eXpenmental concluded
results,it matwiththe
您可能关注的文档
最近下载
- 银行零星装饰维修 投标方案(技术方案).docx
- 2024年民航安全检查员(五级)资格理论考试题库(重点500题).pdf VIP
- 挫而不折+破茧成蝶+——挫折教育主题班会课件.pptx VIP
- 人教版地理七年级下册7.2《亚洲人文环境》教学课件.pptx VIP
- 医院手外科进修汇报.pptx
- 慢性肾衰竭病人的护理【共34张PPT】.pptx VIP
- 鹅卵石道路的铺装步骤与方法.doc VIP
- 上海科技大学毕业答辩PPT模板.pptx VIP
- 人教版七年级地理下学期7.2《亚洲的人文环境》第1课时课件.pptx VIP
- 四年级数学下册第七单元《奇异的克隆牛小数加减法》单元备课教案青岛版六三制.pdf
文档评论(0)