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溶胶凝胶法制备Mg掺杂ZnO薄膜的微结构与光学性质-本原扫描探针
39 5 人 工 晶 体 学 报 Vo.l 39 No. 5
2010 10 JOURNAL OF SYNTHET IC CRYSTALS October, 2010
Mg ZnO
1 2 3 1
黄 凯, 吕建国, 刘先松, 唐 震
(1. , 230601; 2. , 230601;
3. , 230039) n
: S i (111) M g ZnO X (XRD)
c
(AFM ) (SEM ) (UVV is)
.
: M g ZnO , c , ,
c 0. 5288 nm 0. 5278 nm, 3. 8 nm 6. 5 nm, 3. 26 eV 3. 31 eV
: M g ZnO ; ; ; m
: O484 : A : 1000985X (2010)
o
M icrostructue andOpticalProperties ofMgdoped ZnO
Thin FilmsPrepared by SolgelMethod
c
.
1 2 3 1
H UANG K ai , LV Jian guo , LI U X ian song , TANG Zhen
(1. Departm en t ofM athem atic Physics, Anhu iUn iversity of Arch itecture, H efei230601, Ch ina;
2. D epartm ent ofPhysics and E lectron ic Engineering, H efeiN orm alUn iversity, H efei230601, Ch ina;
3. S chool of Physics and M aterial S cience, Anhu iUn iversity, H efei230039, Ch ina)
m
(R eceived 5 May 2010, accepted 8June 2010)
p
Abstract: M gdoped ZnO thin film s w ere prepared by solgel m ethod on Si (111 ) and quartz glass
substrates. Them icrostructure, m orphology, and photolum inescence of theM gdoped ZnO th in film sw ere
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