扇形梳齿驱动式微机械隧道陀螺仪的初步研究.PDFVIP

第45 卷 第3 期 厦门大学学报( 自然科学版) V ol . 4 5 N o. 3 2006 年5 月 Journal of X iam en U niversity ( N at ural Science) M ay 200 6 王凌云, 刘益芳, 孙道恒* ( 厦门大学机电工程系, 福建 厦门361005) 设计了一种扇形梳齿驱动式隧道陀螺仪, 意在取代现有的平板驱动方式, 以此来提高陀螺仪的灵敏度. 从扇形梳齿 驱动的工作原理出发, 推导了该型陀螺仪的运动方程, 分析了结构参数与其灵敏度的内在联系. 在此基础上, 对陀螺仪设 计中与陀螺仪性能相关的机械耦合、静电驱动频率和敏感方向刚度等问题进行了有益的探讨, 揭示了静电驱动频率的选 择与敏感方向品质因子和驱动方向品质因子大小之间的内在联系, 为陀螺仪的尺寸优化设计奠定了理论基础. 微机械陀螺仪; 梳齿驱动电极; 隧道传感器 T P 212 A 043 8- 0479 ( 200