多光束并行共焦探测系统特性的研究-中国科技论文在线.PDFVIP

Vo1． 25． № 2 第25卷 第2期 计 量 学 报 2004年 4月 ACTA METR0I0|GICA SINICA April2004 多光束并行共焦探测系统特性的研究 王永红 ， 余晓芬 ， 俞建卫 ， 黄其圣 ， 徐科军 (1．合肥工业大学仪器仪表学院； 2．合肥工业大学 自动化研究所 ，安徽 合肥 230009) 摘要 ：分析了影响多光束并行共焦三维探测系统特性的各种因素，并与传统的扫描共焦显微术进行 了对比分 析，给出并行共焦系统横 向和纵向分辨率的判定依据和测量范围指标，讨论改善系统性能指标 的各项关键技术与 途径。介绍了研制 的多光束并行共焦检测实验系统的构成，并给出初步实验结果。 关键词 ：计量学；共焦显微镜 ；并行检测；分辨率 ；微透镜阵列 中图分类号 ：TB92 文献标识码：A 文章编号