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- 2018-12-01 发布于福建
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D.1.1 洁净室(区)应定期进行性能测试。以认证洁净室(区)始终符合本规范的要求。 D.2.2 空气洁净度等级、静压差、风速或风量的认证测试的最长时间间隔应符合表D.2.2-1和D.2.2-2的规定。 表D.2.2-2 静压差和风速或风量认证的测试要求 空气洁净度等级 最长时间间隔(月) 测试方法 1~5 6 见D.3.5 6~9 12 见D.3.5 表D.2.2-1 空气洁净度等级认证的测试要求 测试项目 最长时间间隔(月) 测试方法 风速或风量 12 见D.3.1 静压差 12 见D.3.2 注:1若洁净室(区)运行中已对粒子浓度、风速、静压差进行连续监测,且其测试值均符合本规范要求时,认证的测试时间间隔可延长。具体间隔时间,可与认证单位洽商。 2 空气洁净度等级认证,可在静态或动态检测,洽商确定。 3 风量测定,应采用风速计在风口或风管测定。 3、强制性条文等介绍 D.2.3 电子工业洁净室(区)的认证测试,除空气洁净度等级、静压差、风速或风量测试外,还应根据需要进行表D.2.3规定的洽商选择测试项目。 表D.2.3 洁净室(区)洽商选择的测试项目 测试项目 空气洁净度等级 建议最长的时间间隔(月) 测试方法 已安装过滤器泄漏 气流流型目测 温度 相对湿度 照度 噪声 自净时间 密闭性 所有洁净度等级 24 24 12 12 24 12 2
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