压电感测器.pptx

第六章 压电传感器 压电效应、逆压电效应三种重要的压电材料压电传感器的特性压电式传感器的信号调节（电荷放大器的原理）压电振动传感器几种典型应用 1压电效应逆压电效应 关键：受到外力产生变形后，其正负电荷的中心是否重合。压电效应 重点: 产生的是电荷,因此它上面的电压与器件的电容有关,可以按下式计算: 不同方向上的效应 LongitudinalEffect+++++纵向效应横向效应剪切效应-----TransverseEffect+++++-----++++ShearEffect+-----压电传感器及其材料2 压电式传感器是以某些电介质的压电效应为基础做成的传感器。对压电材料施加外力，将在它的某些表面产生电荷。电荷量的大小与施加其上的力成正比。压电传感元件是力敏元件，它可以测量最终能变换为力的那些非电量，例如动态力、动态压力、振动加速度等。这类传感器 不能用于静态测量。三种重要的压电材料石英压电陶瓷高分子压电材料石 英 晶体切片 石英晶片石英的特性 石英是压电单晶中的代表，有天然石英和人造石英。它具有很好的机械强度，很小的机械损耗，很高的品质因数(可以高达百万以上),很好的时间和温度稳定度性，没有热释电现象等。石英晶体的最大遗憾是压电系数不高，是一般单晶的1/3左右，是其它多晶的几百分之一，因此限制了它的更广泛应用。石英晶体最大的用途是做振荡器，用在各种时钟里。全世界每年估计要生产出20亿只以上的晶振。 压电陶瓷压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它比石英晶体的压电灵敏度高得多，而制造成本却很低，因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷。常用的压电陶瓷材料有锆钛酸铅(PZT)及非铅系压电陶瓷(如BaTiO3等)。 +-------------------------+++++++++++++++++++++++++-压电陶瓷需要进行极化处理注意： +Polingaxis+--+-++++-+Polingvoltage----+++-+++-+-+---+---+++--极化前 极化中 极化后原始的压电陶瓷不具有压电性，其内部“电畴”是无规则排列的。其电畴与铁磁物质的磁畴类似。 在一定温度下对其进行极化处理，即利用强电场使其电畴按规则排列，呈现压电性能。极化电场消失后，电畴取向保持不变，在常温下可呈压电特性。 Poling：极化高分子压电材料典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯(PVDF或PVF2 )聚氟乙烯改性聚氯乙烯(PVC)等。这是一类柔软的压电材料，可以根据需要制成薄膜或电缆套管等形状。它不易破碎，具有防水性，可以大量连续拉制，制成大面积的元件，价格便宜。 压电式传感器及其等效电路3 压电传感器可以看作是电荷发生器，它又是一个电容器。其电容量为： 如果施加在晶片上的外力不变，积聚在极板上的电荷无内部泄漏，外电路负载无穷大，那么在外力作用期间，电荷量将始终保持不变。但这是不存在的。（也因此不适于做静态测量。） CRRiiiCi放大器输入端等效电路 　　(a)等效电压源 　(b)等效电荷源CaUCRacQCRCaac压电式传感器的频率响应(1)、频率下限 压电传感器的低频响应不好。主要是受到泄漏电阻（传感器本身与放大器输入电阻）的影响。传感器的低频响应可以很低，但就是不能为零(DC)；(2)、 频率上限 压电传感器的频率上限由传感器本身的固有频率限制，一般应为固有频率的三分之一以下。 频率响应曲线1001010.1谐振峰输出电压V可用区间 频率/Hz压电式加速度计的典型频率响应曲线。特点：直流响应为0，然后有一平坦区间，接着有一谐振峰，然后快速下降。Typical Frequency Response Curvelow frequency limitdetermjned by RCroll-off characteristicsUsable Range 5%15%with LP filterHP filterfDCfn某一压电式加速度计的频率响应。特点：直流响应为0，然后有一平坦区间，接着有一谐振峰，然后快速下降。HP filter = High Pass Filter,高通滤波器； LP = Low Pass对方波的响应 F(力)V(电压) 压电式传感器的信号调节4 压电式传感器的输出信号非常微弱，一般都需要将电信号放大后才能检测出来。其输出可以是电荷信号，也可以是电压信号。 有两种放大方式： 1、普通的电压放大 2、电荷放大 而电荷放大器具有更多的优点，因此得到了更为广泛的应用。 电压放大 KKRRRCCCCaiciaUQUUUQ0i0i传感器与电压前置放大器连接的等效电路 左图的的简化电路 H(S)相当于一个一阶高通滤波器，因此只能传递高频信号。电压放大器ik