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光学测量技术及应用第4章.pdf

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光学测量技术与应用 ——激光衍射测量和莫尔条纹技术王峰 2013/5/16 4.1 激光衍射测量基本原理衍射现象:光波在传播过程中遇到障碍物时偏离直线传播，绕到障碍物的几何阴影区的现象。光的衍射现象是来自同一波前不同点的子波干涉的结果。菲涅耳衍射与夫琅和费衍射 2013/5/16 光学测量技术与应用－激光衍射测量和莫尔条纹技术 2 4.1 激光衍射测量基本原理 S 光源障碍物接收屏光源障碍物接收屏菲涅耳衍射：当光源和衍夫琅和费衍射：当光源和衍射射屏都离障碍物有限远时，屏都离障碍物无限远时，也称也称近场衍射。远场衍射。夫琅和费衍射计算简单，用处较多，以后所讨论的均为此类衍射。 2013/5/16 光学测量技术与应用－激光衍射测量和莫尔条纹技术 3 4.1.1 单缝衍射测量 1. 单缝衍射测量原理 S 光源观察屏狭缝 sin2  衍射强度分布为: I I 0  2     b  sin  式中，是衍射角, I 是衍射角 0时的  0 衍射强度。 2013/5/16 光学测量技术与应用－激光衍射测量和莫尔条纹技术 4 4.1.1 单缝衍射测量 1. 单缝衍射测量原理当  , 2,n 时，衍射为暗条纹。 1.0 0.8 0.6 测定任一级暗条纹的位置或变 0.4 -1.43 1.43 化就可以精确知道被测间隙b 0.2 -2.45 2.45 的尺寸及尺寸的变化。 0.0 -10