真空泵选型指引.pdf

真空泵选型指南 原材料的提取和加工、太阳能、冷冻和变压器干燥、医疗技术、等 对于许多应用来说，不仅需要真空泵和系统，经常还需要其他配 离子体处理、电池的生产、工艺气体等应用都需要真空技术，真空 件，以保证泵的正常工作以及设备能达到其最高的使用寿命。使用 需求和使用在各种应用中几乎是无止境的。各种应用的不同,自然会 适当的泵配件也可以减少运营成本。 需要不同的真空设备，并且对于有些真空设备还需要特定的要求。 在需要大量抽水的应用中，旋片泵必须在温暖的工作温度下运行。 拥有 20,000 多种产品的普发真空提供范围广泛的产品组合，它们 此外，气镇阀必须打开，这可以防止干燥过程中由于蒸汽没有被抽 的部件可彼此分别组合，而且可以专门调整以适用每种应用的需 掉而发生冷凝。这样还避免了由于工作液稀释而导致泵润滑不足的 要。为了配置最佳的泵组合，必须考虑每种使用情况。 问题。 凭借 125 年开发和调试真空解决方案的经验，普发真空的专家在设 在使用扩散泵设计系统时，必须注意，角阀和挡水板会将扩散泵的 计和定制真空系统方面拥有丰富的专业知识。除了由本公司提供咨 抽速降低约 40%。这些组件对于防止泵内的油回流来说至关重要。 询和服务之外，本指南还为设计合适的真空解决方案提供现场验证 的选择和决策工具。 为防止扩散泵过热及其推进物的燃烧，必须严格保持前真空压力或 与扩散泵相比， 在五年的使用寿命中使用涡轮分子泵的总成本 前级泵的输送压力。否者，它可能会导致故障，并需要大量的清洁 （包括真空泵的购买）仅为扩散泵的五分之一。 工作。 一些预载室应用需要非常短的预抽真空时间，在设计真空系统时必 在冶金中，载尘应用需要除尘器。除尘器安装在工艺室和真空泵之 须考虑这一点。我们建议罗茨泵和前级泵的级配为 2:1 ，最多 间，用来保护转子、轴承和机械密封件。这样，泵可以承受诸如烧 3:1 ，例如 罗茨泵抽速为 1,000 m3 3 /h，前级泵抽速为 300 m /h 或 结、渗氮、硬化、电子束焊接以及建筑玻璃镀膜和 PVD 或 CVD 500 m3/h。此外，必须确保罗茨泵的齿轮室始终处于真空下。普发 工艺等的工艺要求。 真空的产品系列中提供了必要的配件。 如果系统使用进气口尺寸约 630 mm 的扩散泵，可以用两台涡轮分 以下内容表示真空设备必须满足特定应用的要求。不同标准和类型 子泵来取代它们，这样在技术和经济效益上都是有益的。 的泵的特性各不相同，可为具体的应用选择合适的泵。此外，这些 应用都具有安全性和可靠性。 与扩散泵相比，购买涡轮分子泵更昂贵，但是它们的能耗和水耗更 低，这意味着在五年的运营期内成本仅为原来的五分之一。此外， 涡轮分子泵具有 1-2 hPa 的高临界前级压力。这意味着通过使用涡 轮分子泵，前级泵系统可设计为原来尺寸的十分之一，这样能大幅 降低成本。涡轮分子泵是无推进物的干式高真空泵。鉴于这些特 性，使用涡轮分子泵可以避免真空室和过程受到污染。 普发真空高效节能的 HiPace 涡轮分子泵使得许多工艺实现了显著 普发真空凭借其 20,000 多种产品的广泛系列，为每一个应用提供 的成本控制。 正确的解决方案。 2 工艺 应用 泵的标准 冶金 退火、钎焊、烧结、铸造、硬化、氮化 重粉尘、蜡、NH3 （氮化）、助焊剂 电子束焊接 金属粉尘、湿度、电子