喷雾热解法制备SnO2Sb透明导电薄膜-维普.PDFVIP

维普资讯 第 31卷第 11期 硅 酸 盐 学 报 Vo1．31，No．11 2003年 11月 JOURNAL OFTHECHINESE CERAMICSOCIETY November，2003 喷雾热解法制备 SnO2：Sb透明导 电薄膜 张聚宝 ，侯 春 ，翁文剑 ，程 逵 ，杜丕一 ，沈 鸽 ，汪建勋 ，韩高荣 (1．浙江大学材料科学与工程系，杭州 310027；2．浙江工业大学理学院，杭州 310014) 摘 要：采用喷雾热解技术制备出了光电性能优 良的SnO2：Sb透明导电薄膜，对薄膜的结构特性、光电性质以及制备条件对薄膜性能的影 响进行了研究。并进一步研究了喷雾热解法中薄膜的形成过程和工艺参数对薄膜微观结构和性能的影响。实验结果表明：在 sb掺杂量为 l1 (摩尔分数)和基板温度为500℃的条件下，SnO2：Sb薄膜具