修补设备及修补原理介绍.pptxVIP

2017/8/14;修补设备使用激光进行修补 那激光是什么？ 激光如何产生？ 如何使用激光进行修补？ 修补有什么用途呢？;Menu：;一、激光相关知识介绍;一、激光相关知识介绍;一、激光相关知识介绍;一、激光相关知识介绍;一、激光相关知识介绍;序号;三、修补设备原理及修补技能介绍; 1-4.激光加工对象 阵列修正设备主要对Short类缺陷进行修正，修正的原则是辉点暗点化、暗点正常化及SG S化； ①.S-D Leak、G-D Leak、D断及IGZO缺陷，实施辉点暗点化修正； ②.D-COM Leak实施暗点正常化修正； ③.S-G Leak实施S化； ;二、修补设备原理介绍; 1-4.激光加工对象 光刻胶修正设备主要对光刻胶残留缺陷进行修正，修正的原则是将多余的光刻胶剥离掉； ;二、修补设备原理介绍; 1-4.配线修正装置示意图; 1-5.激光加工对象 配线修正设备主要对断线及Short类缺陷进行修正，修正的原则是断线进行镀膜连接修正及Short类缺陷进行切割修正； ①.当层缺陷直线修正 ②.当层缺陷架桥修正 ③.当层S Leak修正 ;Thanks！