特殊气体供应系.ppt

unique id: 086465 Documentum\SMIC-IP(Aug2001)(Scn).ppt * * SMIC Confidential * * 086465 特殊气体介绍 Pressure unit: （压力单位） psig—表压，psia—绝对压力 psia=psig+14.7 1bar=105Pa=1.0197Kg/cm2=14.504psi=0.987atm 1atm=14.7psi Flow rate unit:（流量单位） sccm—毫升/分钟 slpm—升/分钟 1slpm=1000sccm S表示标准状态，即：1大气压，20 ℃。 Weight unit:（重量单位） 1Kg=2.2Lbs 压力 / 重量单位 化学品及企业标识 : 化学品名称, 企业名称,企业应急电话等 危险性概述 : 危险性类别(8大类)，侵入途径，健康危害等 急救措施 : 皮肤接触，眼睛接触，吸 入等 消防措施 : 危险特性，有害燃烧产物，灭火方法及灭火剂，灭火注意事项等 泄露应急处理 : 应急处理和消除方法等 操作处置与储存: 操作注意事项，储存注意事项等 接触控制/个体防护: 最高容许浓度TLV，呼吸系统防护,眼睛防护，身体防护等 理化特性 : PH值，沸点（℃），相对蒸气密度（空气=1）等 废弃处置 ：废弃物性质，废弃处置方法，废弃注意事项等 法规信息 ：国内化学品安全管理法规，国际法规等 ?? MSDS—物质安全资料表 SMIC 的特殊气体分为四种: 惰性气体 毒性气体 腐蚀性气体 可燃性/毒性气体 气体的定义 在SMIC总共有41种特殊气体: 14种惰性气体 CF4, CHF3, C4F8, C2F6, SF6, CO2, C3F8, 0.5%O2/He, 20%O2/N2, 30%O2/He, 1.2%Kr/Ne, 1.2%He/N2, 100ppmXe/Ar/Ne, 99.5%He/N2 6种毒性气体 SiH4, 1%PH3/N2, 1%PH3/H2, CO, 0.7%AsH3/H2，B2H6 8种腐蚀性气体 ClF3, NH3, SiF4, HCl, Cl2, HBr, 0.9%F2/1.2%Kr/Ne, 0.9%F2/3.5%Ar/Ne 10种可燃性/毒性气体 NO, SiH2Cl2(DCS), N2O, NF3, 10%CH4/Ar, CH3F, CH2F2, C4F6, 4%H2/N2, 5%H2/He, CH4 Sub-Fab (腐蚀性)—C5F8, BCl3 和 WF6 气体的定义 气体房包括 CQC(连续质量控制) 房, 纯化器房,惰性气体房,毒性气体房,腐蚀性气体房和可燃性/毒性气体房. 气体房布置图如附件: 气体房布置图 特殊气体通过气瓶柜输送到特殊气体分配器—VMB/VMP, 然后送到机台端给制程用 特使气体供应系统包括 3 部分: 气瓶柜 — 气体供应的源头, 供应稳定压力的气体 VMB/VMP — 气体分配器, 装有阀门来控制每一路气体管道 机台— 特殊气体的最终用户 特使气体供应系统 G/C 气瓶柜 VMB/VMP Tools 机台 1st Floor Gas Room 1楼 气体房 2nd Floor Sub-Fab 2楼 次洁净室 3rd Floor Clean Room 3楼 洁净室 特殊气体供应流程图 气体房 FAB1 特气气瓶柜 气瓶柜流程图(Air Liquid) 所有气瓶柜在零中断的情况下自动切换, 在紧急情况下会自动停止供气. 我们也可在必要条件下手动操作气瓶柜. 气瓶柜 对高压的气体, 我们使用压力传感器来监测气瓶内气体的状况. 当气瓶压力达到低设定时,气瓶会从一侧切到另一侧, 同时也会释放出警报. 当送气压力达到低设定时,气瓶也会从一侧切到另一侧. 气瓶柜 对液态的气体, 我们用磅秤来监测气瓶内气体的状况.当气瓶压力达到低设定时,气瓶会从一侧切到另一侧, 同时也会释放出警报. 当磅秤出现问题时,气瓶也会根据气瓶压力的状况从一侧切到另一侧. 气瓶柜 FAB2 BSGS大宗特殊气体供应包括: CO2, C2F6, N2O, NF3, SiH4 Y气瓶供应包括: CO2, C2F6, N2O 气瓶组供应包括: NF3,SiH4 FAB2大宗特殊气体供应简介 大宗特殊气体供应----Y 气瓶 大宗特殊气体供应----气瓶组 在SMIC,共有 6 种气体需要安