压电驱动菱形放大式胶体微喷系统的建模与试验-北京理工大学.PDF

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第卷第期北京理工大学学报年月压电驱动菱形放大式胶体微喷系统的建模与实验路士州周凤岐任晨亮刘伟黄博山东大学威海机电与信息工程学院山东威海哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室黑龙江哈尔滨摘要为实现微电子封装领域各类胶体的精确微量分配设计了基于菱形放大机构放大压电致动器位移的微喷系统利用集总参数法建立了该系统的等效电器模型通过实验验证了模型和仿真结果的可靠性分析了系统参数对胶滴体积和脱离效果的影响实验和仿真表明撞针位移在时为有利于喷射胶滴的范围内针对黏度的胶体当驱动气压在时喷射体积与驱动气压成

第 卷 第 期 北 京 理 工 大 学 学 报 37 9 Vol.37 No.9 年 月 2017 9 TransactionsofBeiin InstituteofTechnolo Se.2017 jg gy p 压电驱动菱形放大式胶体微喷系统的

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