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宽光谱监控 宽光谱扫描，在很宽的波长范围内监视薄膜的特性，使控制既直观又精确 监控原理：实时测量膜系的光谱特性，并不断地比较实时测定的光谱曲线与理论要求的曲线。在不考虑误差的情况下，当两者完全一致时，就认为膜层达到理论设计厚度 宽光谱监控 宽光谱监控的波长、光学厚度、透过率的三维函数图 宽光谱监控 宽光谱监控的优点 可以直观方便地控制宽谱特性 宽谱补偿：前面膜层的误差，在一定程度上被后续膜层补偿和截断 实现非规整膜系的监控 镀制过程中对透、反射特性的曲线分析处理，可以计算出已镀膜层的折射率、吸收率、色散、厚度等参数 Filmonitor BS宽光谱监控系统 宽光谱监控原理图 Filmonitor BS宽光谱监控系统 系统特点 每秒输出三个数据值 有效监控波长范围从400nm到800nm，完全覆盖可见光范围 系统测量精度可以达到0.1% Filmonitor BS-硬件特点 光路 使用紫外增强石英光维接收光信号，传输损耗优于普通光纤，紫外波段的传导特性较好。光纤孔径角22°。 光源后添加一个球形反射镜，增加光源使用效率 加光阑限制杂散光进入 光源选用卤钨灯，特点是亮度高，稳定性好。采用风冷 光谱仪：2048像元线阵CCD，分辨率2-3nm。工作范围：1100-200nm。 Filmonitor BS-软件功能 膜系光谱特性计算 自动测定镀膜材料的折射率和色散 三种判停方式 ：目视法人工判停；特征点法自动判停；能量法自动判停 实时修正：分析当前膜层光谱曲线，计算膜层厚度，优化后续膜层 Filmonitor BS-折射率测定 折射率测定是光学镀膜的一个非常重要的工艺工作，材料的色散是受设备及镀制工艺影响的 无吸收曲线呈等幅震荡，有吸收时，呈震荡收敛形状 n=（Y*ng）1/2 Filmonitor BS-折射率测定 二十四层冷光膜镀制实验 未修正折射率的理论与实际光谱 修正折射率后的理论与实际光谱 积木式光学薄膜监控系统 积木式监控：把多种监控系统集成在一起，根据实际情况来选择合适的监控方式，从而对镀膜过程实行实时监控。 积木式结构组成：石英晶振监控法 ；单波长监控系统 ；宽光谱监控系统 。 根据需要，交叉组合，协调工作。 积木式光学薄膜监控系统 晶控系统: 控制淀积速率； 控制极薄层 (厚度极薄或光度变化不敏感膜层）； 进行批量自动化生产。 注：首先需要光控对其进行标定。 积木式光学薄膜监控系统 单波长监控系统： 测定材料色散； 标定工具因子（晶控与监控片，监控片与工件）； 窄带滤光片的镀制； 使用AB法实现高精度控制； 注：晶控控制蒸发速率。 积木式光学薄膜监控系统 宽光谱监控系统： 测定材料色散； 宽带产品的镀制，比如分光膜，AR膜，截至膜等； 监视产品的光谱曲线（用晶控或单波长控制镀膜过程时）。 注：晶控控制蒸发速率。 石英晶体振荡法： 石英晶体具有压电效应，其固有频率不仅取决于几何尺寸和切割类型，而且还取决于厚度d。 若厚度为d的石英晶片厚度改变△d，则晶体振动频率变化△f，负号表示频率随厚度的增加而减少。 N取决于石英晶体的几何尺寸和切割类型的频率常数 镀膜时质量增量所产生的晶体频率变化： 把石英晶片厚度改变△d变换成膜层厚度增量△dM A是晶体受镀面积， 为膜层密度， 为石英密度 是石英晶体的基频， 与 之间是线性关系。 厚度的变化与振荡频率成正比。 注意！ 在石英晶片上淀积厚度为 ，则相应晶体厚度变化为： 当膜厚不大，即薄膜质量远小于石英基片质量时，晶片谐振频率变化不大， 可认为常数。 对于特定的石英晶体测量膜厚，随薄膜厚度增加，频率和厚度的关系偏离线性。 令： ，称为质量灵敏度。 石英晶体片起始频率越高，质量灵敏度越高。 石英晶体监控的有效精度取决于电子线路的稳定性，所用晶体的温度系数、石英晶体传感探头的特定结构。 石英晶体监控的优点: 1.装置简单，没有通光窗口，没有光学系统安排等麻烦。 2.信号容易判读，随着膜层的增厚，频率线性下降，与薄膜是否透明无关。 3.同时可以记录蒸发速率，适合于自动监控。对薄的膜层有较高的控制精度。 石英晶体监控的缺点: 1.晶体直接测量薄膜的质量而不是光学厚度 2.不像光电极值法，具有厚度自动补偿机理。 3.晶体的灵敏度随质量的增加而降低，给红外膜带来困难。 石英晶振法与光电监控法比较 常用的监控方法：用光学方法测量薄膜的反射率或透射率；通过石英晶体微量天平测量淀积物的质量 石英晶振法 Δf=A*Δd，A=-(ρM/ ρQ)*(f*f/N) 预期灵敏度