国立清华大学奈微与材料中心RTP快速热制程机台操作手册机台管理者.docVIP

國立清華大學奈微與材料中心 RTP快速熱製程機台操作手冊 機台管理者:吳若穎 電話:42291 工程三館228室 操作步驟: 使用機台前須確認事項 從記錄簿確認機台前次使用無問題，若發現問題，暫停使用並通知管理者。 溫度25℃，濕度60％ 提供冰水機之廠務冰水閥門”ON” 冰水機水壓達到60psi，水位維持在”黑線”之上 使用之製程氣體閥門”ON”，氣體壓力維持在”黑線”上 填寫機台使用記錄簿，逐一填寫，並刷卡開啟電源。 開啟機台下方電腦電源”ON” 進入Windows畫面，點選本機應用程式進入系統。 進入此畫面請填寫ID:student Password: student 點選進入手動操作視窗，通入N2破真空，並檢查各項氣體開關與冷卻水開關是否開啟。 氣體流量控制區輸出功率控制區加熱燈管區目前溫度與真空度Pump開關流量控制器氣動閥冷卻水開關高壓氣體開關燈管已使用時數（壽命）燈管回饋(電壓)值 氣體流量控制區 輸出功率控制區 加熱燈管區 目前溫度與真空度 Pump開關 流量控制器 氣動閥 冷卻水開關 高壓氣體開關 燈管已使用時數（壽命） 燈管回饋(電壓)值 流量控制器： 執行狀態 錯誤狀態 氣動閥： 執行狀態 錯誤狀態 SCR： 執行狀態 壓力表：正常壓力應維持在 5 Kgf/cm2 異常狀態 氣體流量控制區： 氣體名稱：顯示所使用的氣體名稱。 氣體流