《自动检测技术及应用》第章 电容式传感器及其应用.pptVIP

第4章 电容式传感器 　　本章学习电容式传感器的工作原理、测量转换电路及其应用。 　电容式传感器 定义：将被测非电量的变化转换为电容量变化的传感器。 应用：位移、加速度、液位、振动及湿度。 §4.1 电容式传感器的工作原理及结构形式 请思考：上式中，哪几个参量是变量？可以做成哪几种类型的电容传感器？ 　 改变A、d、? 三个参量中的任意一个量，均可使平板电容的电容量C 改变。 固定三个参量中的两个，可以做成三种类型的电容传感器。 1、变面积（A）式电容传感器 　图a是平板形直线位移式结构，其中极板1可以左右移动，称为动极板。极板2固定不动，称为定极板。 　图b是一个角位移式的结构。极板1的轴由被测物体带动而旋转一个角位移? 度时，两极板的遮盖面积A就减小，因而电容量也随之减小。 　图c是同心圆筒形变面积式传感器。外圆筒不动，内圆筒在外圆筒内作上、下直线运动。　 变面积式电容传感器的特性 变面积式电容传感器的输出特性是线性的，灵敏度是常数。这一类传感器多用于检测直线位移、角位移、尺寸等参量。 你能否画出变面积式电容传感器的输出特性曲线?? 当动极板受被测物体作用引起位移时，改变了两极板之间的距离d，从而使电容量发生变化。 3、变介电常数（ε）式电容传感器 因为各种介质的相对介电常数不同，所以在电容器