中北大学5测试与传感技术工程应用.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * 5.5.2 压力的测量 2.常用压力传感器应用举例：薄壁圆筒应变片式压力传感器 * 5.5.2 压力的测量 2.常用压力传感器 * 第5章 测试与传感技术的工程应用 ②压阻式压力传感器 敏感元件是半导体应变片。 5.5.2 压力的测量 2.常用压力传感器 * 第5章 测试与传感技术的工程应用 ②压阻式压力传感器 敏感元件是在某一晶面的单晶硅平膜片上，沿—定的晶轴方向扩散着—些长条形电阻。 当膜片受到流体压力或压差作用时，膜片内部产生应力，从而使扩散在其上的电阻值由于压阻效应而发生变化。 可以在切向应力等于零的圆周上沿着(001)晶面的两个相互垂直的晶轴，分别布置两个切向和两个径向电阻，并将四个电阻接成图示的全桥，这样既提高了灵敏度，又实现了温度补偿。 5.5.2 压力的测量 3.压力变速器 * 第5章 测试与传感技术的工程应用 输出为标准信号的压力传感器，有较高的静态精度。 霍尔式压力变送器。用霍尔元件把波登管的自由端位移转换成电压(霍尔电势)输出。 5.5.2 压力的测量 3.压力变速器 * 第5章 测试与传感技术的工程应用 力平衡式压力变送器。（也叫伺服式或压差式） 5.5.2 压力的测量 4.压力测量系统的动态特性 * 为了使压力测量系统具有最佳的动态性能，传感器与测压点处的连接最好处于“齐平”的状