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1 电 子 陶 瓷 第三章 电子陶瓷工艺原理 2 第三章 电子陶瓷工艺原理 一 电子陶瓷工艺概述 二 电子陶瓷原料与粉碎 三 电子瓷料合成原理 四 电子陶瓷成型原理 五 电子陶瓷烧结原理 六 电子陶瓷表面加工 3 冷冻干燥法 共沉淀法 熔盐法 溶胶－凝胶法 水热法 三 电子瓷料合成原理 1 固相煅烧法 2 液相法 4 三 电子瓷料合成原理 1 固相煅烧法(传统工艺)： 其目的是经过一次或多次高温煅烧作用，使各氧化 物原料之间产生必要的预反应，形成所需晶相，以保 证最终产品的质量。 如： BaCO3+TiO2 2Pb3O4+6ZrO2 ZnO+Nb2O5 BaTiO3+CO2 6PbZrO3+O2 ZnNb2O6 5 三 电子瓷料合成原理 1 固相煅烧法(传统工艺)： 优点： 工艺简单，成本低廉 缺点： ① 由于固相反应在粒子界 面上进行，常出现反应不完全 和成分不均匀的情况； ② 固相掺杂很难均匀一致， 尤其微量掺杂，不可能达到 完全均匀。 固相煅烧合成陶瓷粉体 6 三 电子瓷料合成原理 2 液相法 冷冻干燥法： 将金属盐水溶液滴入或喷入冷冻剂（低温有机或无机 液体，如，干冰和丙酮的冷冻槽－94.3 ℃）中，使液滴 瞬时冷冻结冰，然后在低温低压条件下干燥，使冰升华 脱水，得到疏松的、保持液滴形状的盐粒子，将其加热 分解可制得均匀的复合氧化物微粉。 关键步骤：升华在较低温度下进行，避免融化产生液相 7 三 电子瓷料合成原理 2 液相法 冷冻干燥法： 优点： ① 通过溶液状态的均匀混合，容易制得许多成份复杂 的混合原料 ② 由于冷冻液滴是分离的，所以得到粉料颗粒具有很 好的分散性 ③ 可以制得圆形或近圆形的多孔，松散球粒，活性高 8 三 电子瓷料合成原理 2 液相法 冷冻干燥法： 示例：YBa2Cu3O9-δ超导陶瓷粉体合成 按照Ba, Y, Cu的化学计量比将 Ba(NO3)2、Y(NO3)2及Cu(NO3)2配制 成水溶液，然后利用喷雾器将其直接 分散于液氮中冷冻，待冷冻物与液氮 分离后放于真空干燥器中升华，干燥 粉末转化为复合氧化物，最后在700℃ 煅烧５h，制得正交晶系、平均粒径30 nm 的球形YBa2Cu3O9-δ粉体。 冷冻干燥装置 9 三 电子瓷料合成原理 2 液相法 共沉淀法： 把化学原料以溶液状态混合，并向溶液中加入适当的沉淀剂 （OH-1, CO32-, SO42-, C2O42-等），使溶液中已经混合均匀的各个组 分按化学计量比共同沉淀出来，或者在溶液中先反应沉淀出一种中 间产物，再把它煅烧分解制备出微细粉料。 关键步骤：如何使组成材料的多种离子同时沉淀 基 于 溶 度 积 (Ksp) ，控制PH 。当一个体系满足[M+][OH-]≥Ksp 时，开始形成微核。当微核长到某一临界尺寸，形成沉淀。 优点：方法简单，得到粉体性能优良，广泛采用 缺点：过程复杂，颗粒的成核，生长不易控制 10 三 电子瓷料合成原理 2 液相法 共沉淀法： 示例：BaTiO3纳米粉体合成 1 BaCl2+TiCl4+H2C2O4→ BaTiO(C2O4)2·4H2O (单相沉淀) BaTiO(C2O4)2·4H2O → BaTiO3 2 BaCl2+TiCl4+(NH4)2CO3 +NH3·H2O → BaCO3+Ti(OH)4 (混合物共沉淀) + NH4Cl BaCO3+Ti(OH)4 → BaTiO3 共沉淀装置 11 三 电子瓷料合成原理 2 液相法 熔盐法： 将反应物与熔盐（KCl, NaCl等）按照一定的比例配置，混 合均匀后加热使之熔化，反应物在熔盐体系下进行反应生成产 物，冷却至室温后，以去离子水清洗除掉熔盐得到纯净的反应 产物。 原理：熔盐起熔剂和反应介质作用，反应成分在液相中以离子 形式存在，流动性强，扩散速率显著提高。 优点：方法简单，合成温度较固相法低 缺点：熔盐较难洗净 12 三 电子瓷料合成原理 2 液相法 熔盐法： 示例1：KNbO3压电陶瓷粉体合成 K2CO3 (in melts)+Nb2O5 (in melts) → KNbO3 (800℃) Melts: KCl (melting 770℃) Ge H Y, et.al., Chem Commun, 2008, 41: 5137-5139 13 三 电子瓷料合成原理 2 液相法 熔盐法： 示例2：ZnTiO3介电陶瓷粉体合成 ZnO (in melts)+TiO2 (in melts) → ZnTiO3 (800℃) Melts: 50mol%NaCl-50mol%KCl (melting 670℃) Xing X R, et.al