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第二章 电子显微分析 电子显微分析：利用聚焦电子束与试样相互作用产生的各种物理信号，分析试样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成。主要包括透射电子显微分析、扫描电子显微分析和X射线电子显微分析。 特点：极高的放大倍率、高的分辨率成像，可以进行形貌、物相、晶体结构和化学组成的综合分析。 §1 电子光学基础 电子光学：是研究带电粒子（电子、离子）在电场和磁场中运动，特别是在电场和磁场中的偏转、聚焦和成像规律的一门科学。 电子光学与几何光学的区别： ⑴ 几何光学是利用透镜使光线聚焦成像，电子光学利用电磁场使电子束聚焦成像。 ⑵ 几何光学旋转对称面为折射面，电镜等是以旋转对称的电磁场产生的等位面为折射面。 ⑶ 电子光学把电子运动的轨迹看成射线，引入一系列的几何光学参量（焦点、焦距）来表征电子透镜对电子射线的聚焦成像作用。 一、光学显微镜的局限性 分辨本领：一个光学系统能分开两个物点的能力，它在数值上是刚能清楚底分开两个物点的最小距离。 Abbe（阿贝） r=0.61λ/(nsinα) (nm) 减小r途径：增加介质折射率；增大物镜孔径半角；采用短波长照明源。 二、电子的波性及波长 德布罗意假设：电子具有波粒二象性 E＝hν P=h/λ p=mv ∴λ= h/mv 运动中的电子也必伴随着一个波——电