原创力文档锗氮共掺碳化硅晶体杂质浓度表征及其电学性质研究
第33 卷 第5 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 33 No. 5
2018 年5 月 Journal of Inorganic Materials May, 2018
文章编号: 1000-324X(2018)05-0535-05 DOI: 10.15541/ji
锗氮共掺碳化硅晶体杂质浓度表征及其电学性质研究
1,2 1,2 1,2 1,2 1,2 1,2
李 天 , 陈秀芳 , 杨祥龙 , 谢雪健 , 张福生 , 肖龙飞 ,
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