InSb2In共晶体薄膜磁阻式齿轮转速传感器3.PDFVIP

( ) 　2002 年 第 21 卷 第 5 期 　　　　　　　　　　传感器技术 Journal of Transducer Technology 19 设计与制造 InSbIn 共晶体薄膜磁阻式齿轮转速传感器 刘 　洪 , 黄钊洪 , 代贵华 , 黄志文 , 徐明六 (华南师范大学 华南量子电子学研究所 ,广东 广州 510631) ( ) ( ) ( ) 摘 　要 : 介绍一种用锑化铟 —铟 InSbIn 共晶体薄膜磁敏电阻 MR 制成的齿轮转速传感器 GVS ,它由