厂务设施中央监控系统设计指引.docVIP

WORD格式 可编辑 专业技术 知识共享 WORD格式 可编辑 专业技术 知识共享 Facility Monitoring and Control System Design Guide 厂务设施中央监控系统设计指引 技术手册 高科技项目/仪电组 WORD格式 可编辑 专业技术 知识共享 目 录 TOC \f \h \z HYPERLINK \l _Toc398645384 1.0 系統簡介 PAGEREF _Toc398645384 \h 3 HYPERLINK \l _Toc398645385 1.1 系統用途 PAGEREF _Toc398645385 \h 3 HYPERLINK \l _Toc398645386 1.2 主要設備 PAGEREF _Toc398645386 \h 3 HYPERLINK \l _Toc398645387 1.3 控制功能 PAGEREF _Toc398645387 \h 5 HYPERLINK \l _Toc398645388 2.0 設計準則 PAGEREF _Toc398645388 \h 5 HYPERLINK \l _Toc398645389 3.0 設計步驟及注意事項 PAGEREF _Toc398645389 \h 7 HYPERLINK \l _Toc398645390 3.1 建立廠務監控系統架構圖 PAGEREF _Toc398645390 \h 7 HYPERLINK \l _Toc398645391 3.2 依設備需求製作控制系統之I/O List PAGEREF _Toc398645391 \h 9 HYPERLINK \l _Toc398645392 3.3 繪製各系統設備之控制流程(概念)圖 PAGEREF _Toc398645392 \h 10 HYPERLINK \l _Toc398645393 3.4 選擇相關軟體 PAGEREF _Toc398645393 \h 10 HYPERLINK \l _Toc398645394 3.5 控制器與儀器平面配置圖 PAGEREF _Toc398645394 \h 11 HYPERLINK \l _Toc398645395 3.6 廠務監控系統規範書 PAGEREF _Toc398645395 \h 11 HYPERLINK \l _Toc398645396 3.7 儀器規範書 PAGEREF _Toc398645396 \h 12 HYPERLINK \l _Toc398645397 3.8 完成廠務監控系統圖面設計與規範 PAGEREF _Toc398645397 \h 12 HYPERLINK \l _Toc398645398 3.9 圖面設計與規範書之校核、審定與核准 PAGEREF _Toc398645398 \h 12 HYPERLINK \l _Toc398645399 3.10 圖面設計與規範書確認 PAGEREF _Toc398645399 \h 13 1.0 系统简介 tc”1.0 系統簡介” 1.1 系统用途tc1.1 系統用途\l2 半导体电子厂厂务系统之中央监控系统，是提供半导体电子厂房洁净的工作环境及稳定与安全的Utility供应系统，使工厂生产线运作顺利，维持高良率。 负责供应半导体电子厂之洁净的厂房环境维护及制程上所需之各系统之厂务公用设施，称为“厂务系统”，每个厂务系统大都会有自己独立之监控系统(统称为SCADA，Supervisory Control And Data Acquisition System) 例如Mep SCADA、Clean Room SCADA、Power SCADA、WWT SCADA、DIW SCADA….等。 中央监控系统(FMCS)，简单的说是将许多不同系统性质之监控子系统(SCADA)，进行信息之整合，进而形成一个单一且功能强大的全厂厂务管理系统，成为有效的管理信息，做为厂务系统操作者与管理阶层的有效工具。 1.2 主要设备 tc1.2 主要設備\l2 厂务监控系统，主要之设备如下： 控制器 PLC (Program Logic Controller)可程控器 DDC (Direct Digital Controller)直接数字控制器 SLC (Single Loop Controller)