材料测试技术总结.doc

材料测试技术总结 实验名称 原理 样品要求 检测信号 主要应用 主要特点 SEM 聚焦电子束照射物质产生各种物理信号，这些信号与样品的形貌、成分、结构有关 固体（块状、粉末导电、不导电） 二次、背散射、吸收电子 金相分析，断口分析（断裂过程动态分析）样品表面形貌的观察与分析。 （相对透、光）分辨率高、放大倍数高且连续、景深大（立体感强）多功能化 制样简单（可以不导电）。 TEM 与光学显微镜一样，阿贝尔原理，平行入射波受到有周期性特征的散射作用在物镜后焦面形成衍射谱。 固体薄膜 投射电子与衍射电子 一般用于物质表面的形貌分析、晶体的结构分析和物质的成分分析。 与SEM：可以实现微区物相分析，获