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Q/370282LGJK
青岛蓝光晶科新材料有限公司企业标准
Q/370282LGJK 023—2017
多晶硅提纯(MR)小方锭
Polysilicon purification (MR) small square ingot
2017 - 03 - 01 发布 2017 - 03 - 15 实施
青岛蓝光晶科新材料有限公司 发 布
Q/370282LGJK 023—2017
目 次
前言 II
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 要求 1
4.1 产品分类 1
4.2 供货状态 2
4.3 牌号 2
4.4 技术要求 2
4.4.1 等级 2
4.4.2 化学成分 2
4.4.3 外观指标 2
4.4.4 导电类型 3
5 测试方法 3
6 检验规则 3
6.1 检验和验收 3
6.2 组批 3
6.3 检验项目及取样 3
6.4 检验结果的判定 3
7 标志、包装、运输、贮存 4
7.1 标志 4
7.2 包装 4
7.3 运输 4
7.4 贮存 4
7.5 质量证明书 4
8 订货单内容 5
I
Q/370282LGJK 023—2017
前 言
本标准由青岛蓝光晶科新材料有限公司科创中心提出并归口。
本标准起草单位:青岛蓝光晶科新材料有限公司。
本标准主要起草人:王峰、姚玉杰、张建帅、张复明。
II
Q/370282LGJK 023—2017
多晶硅提纯(MR)小方锭
1 范围
本标准规定了多晶硅提纯(MR )小方锭的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存
及订货单 (或合同)内容。
本标准适用于多晶硅提纯工艺生产出的小方锭。
多晶硅提纯小方锭采用高效多晶硅锭边皮、掺P 多晶硅料、P 型单晶锅底料、颗粒料等为原料。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 1551-2009 硅单晶电阻率测定方法
Q/370282NTI 049-2017 IRB-50 型红外晶锭探伤仪检测规程
GB/T 26068-2010 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法
GB/T 14849.4-2014 工业硅化学分析方法 第4 部分:杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原
子发射光谱法
GB/T 24582-2009 酸浸取- 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
GB/T 6093-2001 几何量技术规范(GPS )长度标准 量块
GB/T 1550-1997 非本征半导体材料导电类型测试方法
3 术语和定义
3.1
多晶硅 polycrystalline silicon
单质硅的一种形态。高温熔融状态下,具有较大的化学活泼性,能与几乎任何材料
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