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中华人 民共和 国国家标准
石英玻璃中经基含量检验方法 GB/T 12442一90
Testmethodforthehydroxyl
groupscontentofsilicaglass
1 主题内容与适用范围
本标准规定了检验石英玻璃中羚基含量时试样的制备、试验用仪器、试验步骤及结果处理。
本标准适用于透明石英玻璃中经基含量的测定。
引用标准
GB9657半导体用透明石英玻璃管
GB9658光源及真空仪表用透明石英玻璃管
JC426--91 无臭氧石英玻璃管
术语
3.1 透过率或透射比:透过物体的光强度与入射光强度的比值,符号为T.
I2 光谱透过曲线:透过率或透射比随波长的分布曲线。
3.3 光密度:衡量玻璃阻止光线透过的能力,符号为D,数值等于透过率倒数的常用对数。
3.4 基线:光谱透过曲线上吸收峰两肩边的连线。
3.5 零线:光谱透过曲线上透射比为零的线。
3.6 摩尔吸收系数:浓度为lmol/L的单位光程长的吸光度,符号为 ‘
4 试验原理
根据石英玻璃中经基含量与波长2.73pm处光吸收的线性关系进行定量测定。
5 试验仪器
5.1 可测波长范围为2.00-3.30fam,测量精度为士1Yo7的红外分光光度计。
5.2 稳定精度为士。.5%的电子交流稳压器。
5.3 精度为10.Olmm的千分尺,精度为。.02mm的游标卡尺。
5.4 宽度为。.6^-1.Omm的长方形固定光栏一组((2个)。
6 试样制备
6.1从外观质量符合GB9657,GB9658,JC426或相应标准规定的石英玻璃产品中选取待测样品。
6.2 待测样品为块状时,将待测石英玻璃切割、研磨、抛光成镜面,制成25mmX12mm两面平行(厚度
差小于或等于0.05mm)的透明试样两个。厚度为。.4~10.Omm。其中人造石英玻璃厚度为。.4-
0.7mm,气炼石英玻璃厚度为。.8-3.Omm,电熔石英玻璃厚度为1.6-10.Omm 使试样在2.73pm处
国家技术监督局1990-07-21批准 1991一07一01实施
Gs/r12442-90
的透过率在10/-80%(吸光度在1.0 0.1)的范围内。
待测探品为管状时,将待测石英玻璃管切取长35-40mm的管段二段,再分别沿管长方向切取弦
长为8-15mm的弧形试样各一个。
6.3 用千分尺或卡尺测量试样的厚度。
6.4 将试样在器皿中用无水乙醇洗涤干净、晾干,待测。
了 试验步骇
7.1开启并预热试验用仪器。当检测管状试样时,在样品光路和参考光路中分别装入长方形固定光栏。
72 用遮蔽物遮盖样品光路,盖上样品室的盖,检查并调整仪器零点。
7.3 拿去遮蔽物,记录并调整仪器在2.00^-3.30pm范围内的100%基准线。
7.4 将块状待测试样置于样品室的样品光路中,当检测管状样品时,将其试样固定在样品光路的固定
光栏架上,使其中心对准光栏。
按动扫描键进行扫描,记录试样在2.00^-3.30pm范围的光谱透过曲线。
:.;
将试样上下位置对换,再记录一次光谱透过曲线。
试验结果
8.1在记录的光谱曲线上,划出基线,分别测量出2.73pm处基线到零线和吸收峰到零线的距离。
8.2 石英玻璃的经基含量用下式计算:
C_96.5粤lg今
口沼 ,
式中:C— 试样的轻基含量,ppmt
d— 试样厚度,CM;
几— 2.73pm处基线到零线的距离,MM;
1- 2.73pm处吸收峰到零线的距离.mm,
本公式由中国建筑材料科学研究院石英玻璃所实测国产石英玻璃中经基在2.73pm处的克分子吸
收系数:=80.1Lmol-cm-,根据朗伯一比耳定律导出的。
8.3 每个试样用两次计算结果的算术平均值作为该试样的羚基含量值。取两个试样的算术平均值作为
待测石英玻璃的经基含量值。
8.4 参照附录A(参考件)记录和报告试验结果.
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