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电子探针X射线显微分析简称电子探针
(Electron probe X-ray microanalyser EPMA)
电子探针、扫描电镜及其应用 一、开放实验室安全与管理
二、电子探针与扫描电镜概述
三、电子与固体相互作用产生的信息
陈家光 四、试样制备及电子束显微分析方法
五、 应用
显微组织、形貌
微区成分
晶体结构、取向、晶界特性
六、 一点感想
宝钢研究院
JCXA-733 WDS EDS EBSD JXA-8800RL WDS EDS
2006年11月10 日
发展历史
扫描电子显微镜简称扫描电镜 • 电子探针的慨念最初美国Hillier提出 电子束显微分析主要特点：
Scanning Electron Microscope SEM • 分析感量小：10－14 3 3
• 1949年Castaing博士用TEM 、X射线荧光谱仪 g左右（1 μm －5 μm ）
与光学显微镜改装成电子探针 • 元素分析范围广 ：硼(B)——铀( Ｕ）
• 1956年：法国CAMECA公司制成商品 • 定量准确度高：相对误差1～5 ％
• 1960年：扫描型电子探针问世 • 检测极限: WDS:0.01%左右; EDS:0.1%左
• 1965年：SEM问世 右
• 70年代：EPMA具备扫描功能，计算机控制分 • 不损坏试样：保持固体样品原样
析过程和进行数据处理
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