GB/T 17874-1999电子工业用气体　三氯化硼.pdf

GB/T17874-1999 前 言 本标准是根据我国三抓化硼的生产水平和实际使用情况而制定的，主要技术内容包括适用范围、技 术要求、检验方法、检验规则、安全要求以及产品包装、标志、储存、运输等。 本标准的附录A是提示的附录。 本标准于1999年9月 16日首次发布。 本标准由国家石油和化学工业局提出。 本标准由西南化工研究设计院归口。 本标准起草单位:光明化工研究设计院。 本标准参加起草单位:西南化工研究设计院、北京有色金属研究总院。 本标准主要起草人:张 琳、赵 敏、蔡体杰。 本标准参加起草人:朱心才、蒋文全、佘中玉。 中华人 民共和 国国家标准 电子 工 业 用 气 体 GB/T 17874一1999 三 氮 化 硼 Gasesforelectronicindustry-Borontrichloride 分子式:BC13 相对分子质量:117.169(按 1997年国际相对原子质量) 101.3kPa下的沸点:12.4C 范围 本标准规定了电子工业用三抓化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和 安全要求。 本标准适用于以粗制三抓化硼为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三抓化硼，主要用于电子 工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注人、干法蚀刻等工艺。 2 引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均 为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。 GB190-1990 危险货物包装标志 GB5099-1994 钢质无缝气瓶 GB/T5274-1985 气体分析 校准用混合气体的制备 称量法 GB7144-1986 气瓶颜色标记 GB/T7445-1995 纯氢、高纯氢和超纯氢 GB/T8980-1998 高纯氮 GB11640-1989 铝合金无缝气瓶 3 要求 三抓化硼的技术指标应符合表1的要求，其中金属和顺粒的要求及其检验方法由供方和用户商定 表 1 技术指标 项 目 指 标 三抓化翻纯度.10-= (v/v) ) i99.999 氧和缸(以氧计)含2110-0 (V/V) ( 2 氮含量,10-6 (v/v) 《 4 一氧化碳含量.10一‘(V/V) ( 0.2 二氧化碳含t,10一 (v/v) ( 0.5 甲烷含量,10-0 (v/v) ( 0.5 国家质f技术监督局1999一09一16批准 2000一06一01实施 GB/T 17874一1999 4 检验方法 4.1 三抓化硼的纯度 三抓化硼的纯度按式((1)计算 4 100一仔1十01+03+0,+4s)X10-0 ·····················……(1) 式中:价— 三抓化硼纯度，10(V/V); 0, 氧(氮)含量,lo-,(V/V); 丸— 氮含量,10-s(V/V); 03— 一氧化碳含量，10-(V/V); 人— 二氧化碳含量,10-s(V/V); YS— 甲烷含量,10-`(V/V), 4.2 氧(缸)和氮含量的测