第2章CMOS集成电路中的基本元件..pptVIP

2.3.2 电阻器 电阻与温度的关系： SPICE语法——电阻器的定义： Rxxx N1 N2 ModName R=resval … Rxxx：电阻名，必须以R打头 R：该电阻常温下的电阻值 北京大学微电子学系 贾嵩 2010 * 2.3.2 电阻器 SPICE语法——电阻模型的定义： .Model ModName R RSH=val0 TC1R=val1 TC2R=val2 … .Model：表示该语句是模型定义语句 ModName：模型名 R：模型类型 RSH：方块电阻值 TC1R：一阶温度系数TCR1的大小 TC2R：二阶温度系数TCR2的大小 北京大学微电子学系 贾嵩 2010 * 2.3.3 互连线 大面积互连线的寄生效应：寄生电阻、寄生电容。 对电路的影响： 增加电路的延迟时间； 造成信号损失，破坏信号完整性； 引入噪声，影响电路电性能和可靠性。 北京大学微电子学系 贾嵩 2010 * 2.3.3 互连线——寄生电阻 R□(=ρ/T)是互连线的方块电阻值。 集成电路中主要用金属层做互连线。 材料 电阻率ρ 硅化钼MoSi2 90 μΩ·cm 硅化钨WSi2 70 μΩ·cm 硅化钽TaSi2 35~45 μΩ·cm 硅化钴CoSi2 18~20 μΩ·cm 硅化钛TiSi2 13~20 μΩ·cm 多晶硅Ploy-Si 600~800 μΩ·cm