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第10章 气敏湿敏传感器 第十章 气湿敏传感器 第一节 气敏传感器 第二节 湿敏传感器 第一节 气敏传感器 接触燃烧式气敏元件 金属氧化物半导体气敏元件 氧化锆气敏元件 一、接触燃烧式气体传感器 1、检测原理 可燃性气体(H2、CO、CH4等)与空气中的氧接触，发生氧化反应，产生反应热(无焰接触燃烧热)，使得作为敏感材料的铂丝温度升高，电阻值相应增大。可燃性气体燃烧，其发热量与可燃性气体的浓度有关。空气中可燃性气体浓度愈大，氧化反应(燃烧)产生的反应热量(燃烧热)愈多，铂丝的温度变化(增高)愈大，其电阻值增加的就越多。因此，只要测定作为敏感件的铂丝的电阻变化值(ΔR)，就可检测空气中可燃性气体的浓度。 A F2 F1 M R1 R2 C B D W2 W1 E0 F1是检测元件；F2是补偿元件，其作用是补偿可燃性气体接触燃烧以外的环境温度、电源电压变化等因素所引起的偏差。工作时，要求在F1和F2上保持100mA～200mA的电流通过，以供可燃性气体在检测元件F1上发生氧化反应(接触燃烧)所需要的热量。当检测元件F1与可燃性气体接触时，由于剧烈的氧化作用(燃烧)，释放出热量，使得检测元件的温度上升，电阻值相应增大，桥式电路不再平衡，在A、B间产生电位差E。 ΔRF与接触燃烧热(可燃性气体氧化反应热)成比例,可用下式表示 如果令 则有 ρ—检测元件的电阻温度系数； ΔT—由于可燃性气体接触燃烧所引起的检测元件的温度增加值； ΔH—可燃性气体接触燃烧的发热量； C—检测元件的热容量； Q—可燃性气体的燃烧热； m—可燃性气体的浓度[％(Vol)]； α—由检测元件上涂覆的催化剂决定的常数。 ρ，C和α在一定条件下，都是确定的常数。则 并由此求得空气中可燃性气体的浓度。若与相应的电路配合，就能在空气中当可燃性气体达到一定浓度时，自动发出报警信号，其感应特性曲线如图。 接触燃烧式气敏元件的感应特性 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 50 100 150 输 出 电 压 / mV 丙烷 乙醇 异丁烷 丙酮 环己烷 气体浓度(XLEL) E=k?m?b 即A、B两点间的电位差与可燃性气体的浓度m成比例。如果在A、B两点间连接电流计或电压计，就可以测得A、B间的电位差E， (b)敏感元件外形图 (a)元件的内部示意图 触媒 Al2O3载体 Pt丝 元件 (0.8-2)mm 2、接触燃烧式气敏元件的结构 二、半导体气体传感器 气体敏感元件，大多是以金属氧化物半导体为基础材料。当被测气体在该半导体表面吸附后，引起其电学特性(例如电导率)发生变化。目前流行的定性模型是：原子价控制模型、表面电荷层模型、晶粒间界势垒模型。 烧结型SnO2气敏元件 SnO2系列气敏元件有烧结型、薄膜型和厚膜型三种。烧结型应用最广泛性。其敏感体用粒径很小(平均粒径≤１μm)的SnO2粉体为基本材料，根据需要添加不同的添加剂，混合均匀作为原料。主要用于检测可燃的还原性气体，其工作温度约300℃。根据加热方式，分为直接加热式和旁热式两种。 气体敏感元件电阻值RC与空气中被测气体的浓度C成对数关系： n：与气体检测灵敏度有关 m：气体分离度 RC1：气敏元件在浓度为C1时的电阻 RC2：气敏元件在浓度为C2时的电阻 （1）直接加热式SnO2气敏元件(直热式气敏元件) 1 2 3 4 SnO2烧结体 加热极兼电极 (a)结构 4 3 2 1 (b)符号 由芯片(敏感体和加热器)，基座和金属防爆网罩三部分组成。因其热容量小、稳定性差，测量电路与加热电路间易相互干扰，加热器与SnO2基体间由于热膨胀系数的差异而导致接触不良，造成元件的失效，现已很少使用。 （2）旁热式SnO2气敏元件 加热器电阻值一 般为30Ω～40Ω 电极 加热器 瓷绝缘管 旁热式气敏器件结构及符号 SnO2烧结体 1 2 3 4 5 6 （a）结构 （b）符号 7 100目不锈钢网 ?18.4 ?1 23 1 2 3 4 5 6 7 45° 45° 气敏元件外形和引出线分布 加热丝放置在陶瓷管内，管外涂梳状金电极作测量电极，在金属电极上涂有SnO2等材料。 三、氧化锆氧气传感器 在固体电解质中，作为载流子传导电流的主要是离子。二氧化锆（ZrO2）在高温下(但尚远未达到熔融的温度)具有氧离子传导性。 纯净的二氧化锆在常温下属于单斜晶系，随着温度的升高，发生相转变。在1100℃下，为正方晶系，2500℃下，为立方晶系，2700℃下熔融，在熔融二氧化锆中添加氧化钙、三氧化二钇、氧化镁等杂质后，成为稳定的正方晶型，