基于显微光杠杆技术的微结构偏转角测量系统.PDFVIP

第 卷第 期 光 学 技 术 40 3 Vol.40No.3 年 月暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋 2014 5 OPTICALTECHNIQUE Ma 2014 y 文章编号: ( ) 暋暋 1002灢1582201403灢0000灢06 基于显微光杠杆技术的微 结构偏转角测量系统* , , , 刘璐 李艳宁 吴森 胡晓东 ( , ) 天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津 300072 : , 。 摘 要 针对微结构的偏转角度测试需求 设计并搭建了一套基于显微光杠杆技术的角度测量系统 该系统将光 暋 , ; , 杠杆光路与无限共轭显微光路相结合 所得聚焦光斑直径小于 10m 采用电流模式电路处理四象限探测器输出信号 系 毺 ; 。 统理论带宽超过 系统对微结构的转角测量分辨力和理论量程分别可达 和 利用该系统测量了原子力 5MHz 1.2曞 暲4曘 , , 。 显微镜微悬臂梁探针在步进载荷下的偏转情况 测量结果与铁摩辛柯梁理论计算一致 验证了系统的可靠性 : ; ; ; ; 关 键 词 光学测量 微结构 光杠杆 偏转角 电流模式 中图分类号:TN29暋暋暋文献标识码:A Deflectionanlemeasurementsstemformicrostructure g y basedonmicroscoeoticallever p p , , , LIULu LIYannin WUSen HUXiaodon g g ( , , , ) StateKe LabofPrecisionMeasurementTechnolo InstrumentsTianinUniversit Tianin300072China y gy j y