纳米探针在超大规模集成电路可靠性和失效分析中的应用.pdfVIP

下载本文档

21
0
约4.16万字
约 49页
2019-01-06 发布于安徽
举报
版权申诉

纳米探针在超大规模集成电路可靠性和失效分析中的应用.pdf

1、本文档共49页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

contact which thetest the resistance．The impacts accuracy，isprobe existenceofcontactresistanceaffectsthe oftestresults． accuracy Duetothesmall the surface size(≈50nm)and Nano-probetip tip ofthe contactresistancewillbe oxidation layer Nano—probetip，the very dozenstoseveralthousandsofohms thecontact unstable，from range．If valueistoo wi11 the of resistance large(2000hm)，itimpactaccuracy themeasurementresults． aseriesof the Through improvement measures，includingprobes chemical electricmethodtoremove cleaningprocedureimprovement，the surface wellasthe minimizethe probe oxide，as optimizationmethod，we contactresistancemeasurementandthetest ofthe during accuracy measurementresultsbecomemorestableand improved． greatly Words：Failure test Key Analysis，NanoProbe，Reliability ClassificationCode：TN407 5 第一章引言第一节课题背景集成电路一直沿着摩尔(Moore)定律(每3年芯片集成度增加4倍，特征尺寸减小30％)高速发展。与国际半导体技术发展指南(ITRS)lloJ预计的一样技术也即将开发成功并投入量产之中。然而，随着芯片特征尺寸的日益缩小， VLSI芯片结构的日益复杂，芯片制造的复杂性和难度也日益增大，影响芯片良率和可靠性的缺陷也变得越来越微小而不容易发现。 2008丌RS Trendsv■Actualeand