一、压阻式传感器
1、 压阻效应 HYPERLINK /emccourseware/xueli/0928/content/0003/ziliao/1.rar \t /learning/learn/learn/blue/_blank 压阻式传感器
压力传感器照片
压差传感器着照片
全桥型压力传感器照片
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沿着一块半导体某一轴向上施加一定的应力时,除了产生一定应变外,材料的电阻率也要发生变化,这种现象即为半导体的应阻效应。
图3-20 半导体的晶向
对于P型半导体,当应力沿 [111]晶轴方向;对N型半导体,
当应力沿[100]晶轴方向时,便可得到最大的压阻效应。压阻效应
的微观理论建立在半导体
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