2压阻式传感器.docx

一、压阻式传感器 1、 压阻效应 HYPERLINK /emccourseware/xueli/0928/content/0003/ziliao/1.rar \t /learning/learn/learn/blue/_blank 压阻式传感器 压力传感器照片 压差传感器着照片 全桥型压力传感器照片 ? 沿着一块半导体某一轴向上施加一定的应力时,除了产生一定应变外,材料的电阻率也要发生变化,这种现象即为半导体的应阻效应。 图3-20 半导体的晶向 对于P型半导体,当应力沿 [111]晶轴方向;对N型半导体, 当应力沿[100]晶轴方向时,便可得到最大的压阻效应。压阻效应 的微观理论建立在半导体

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