Q_TDGMT J0129-2018SiF系列全自动硅单晶生长炉.pdf

Q/TDGMT 天通吉成机器技术有限公司企业标准 Q/TDGMT J0129—2018 SiF 系列全自动硅单晶生长炉 2018- 11 - 27 发布 2018- 11- 28 实施 天通吉成机器技术有限公司 发 布 Q/TDGMT J0129—2018 目 次 1 范围 3 2 规范性引用文件 3 3 命名 3 3.1 型号构成： 3 3.2 生长炉结构 3 4 基本参数 5 5 技术要求 5 5.1 设计和制造要求 5 5.2 生长炉性能要求 7 5.3 运动部的参数偏差 7 5.4 上轴、下轴的同轴度要求 7 5.5 上轴、下轴传动系统的负荷试验 7 6 试验方法 7 6.1 极限真空度的测量 7 6.2 空炉抽气时间的测量 7 6.3 真空漏率的测量 7 6.4 加热能力试验 8 6.5 表面温度的测量 8 6.6 运动参数相对偏差的测量 8 6.7 上轴、下轴的同轴度测量 8 6.8 上轴、下轴传动系统的负荷试验8 7 检验规则 9 7.1 生长炉的出厂检验项目 9 7.2 生长炉的型式检验项目 9 8 标志、包装、运输和贮存 9 1 Q/TDGMT J0129—2018 前 言 本标准编写遵循了GB/T 1.1-2009 《标准化工作导则第1 部分:标准的结构和编写》等有关规定。 本标准由天通吉成机器技术有限公司提出并负责起草。 本标准主要起草人： 雍春娥、周建中。 本标准于2018 年11 月首次发布。 2 Q/TDGMT J0129—2018 SiF 系列全自动硅单晶生长炉 1 范围 本标准规定了SiF系列全自动硅单晶生长炉的命名、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、 标志、包装、贮存。 本标准适用于生长炉主腔体内径为1200mm、1400mm全自动硅单晶生长炉（以下简称生长炉）。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 150—2011 钢制压力容器 GB/T 10066.4—2004 电热设备的试验方法 第4部分：间接电阻炉 GB/T 10067.1—2005 电热设备基本技术条件 第1部分 通用部分 3 命名 3.1 型号构成： SiF □ □ 重大改进顺序号A、B、C……… 主腔体内径（mm）的1/10 全自动硅单晶生长炉 3.2 生长炉结构 生长炉的结构示意图见图1，生长炉主要部件的名称见表1。