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防靜電基礎知識 一.??? 靜電產生的原理 : ? 1. 摩擦: 絕緣體之間磨擦而產生靜電 ? A B? 2.傳導: 電荷的轉移, 示意圖如下:?  A B電量相等電荷轉移?? 3. 感應: 帶有靜電的物體在電場的作用下使另一個物體也帶有靜電, 示意圖如下: A B 靜電感應只對導體和半導體才有作用. 二. 靜電電荷產生的種類: 1. 摩擦 2. 分離 3. 電場感應 4. 傳導 三.靜電電荷對微電子工業的影響: 1. 微粒污染: 在潔凈室裏,靜電是使直徑在0.1~1.0微米 之間的顆粒沉積的主要原因. 當芯片帶有靜電后就很容易沉積灰塵. 2. ESD(ESD中文意思是靜電電壓放電)失效: 靜電放電時當放電電流過大, 產生過高熱能, 將會擊穿集成電路內部線路. 3. 三種擊穿現象: 1. 熱擊穿: P-N破壞