基于aoi的lcd线路缺陷检测系统-光学工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 A DEFECT INSPECTION SYSTEM FOR ITO CIRCUITS OF LCD BASED ON AOI A Master Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Optical Engineering Author: Li Changhai Advisor: Professor Ye Yutang School : School of Optoelectronic Information 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 作者签名： 日期： 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘 要 摘 要 现代信息显示技术的发展使得液晶屏(Liquid Crystal Display, LCD)的应用越 来越广泛，但是在液晶屏的生产过程中，由于工艺复杂、缺陷种类繁多，再加上 现今检测设备性能等因素，很难实现缺陷的自动化检测，因此目前主要还是靠人 工检测。但是人工检测效率低下，且误检率较大，因此液晶屏生产过程中缺陷的 自动化检测一直是国内外研究的重点领域，并且也是未来液晶屏制程中缺陷检测 的主流趋势。 本文研究了 LCD 玻璃基板上铟锡氧化物(Indium Tin Oxide, ITO)线路的自动 光学检测(Automatic Optical Inspection, AOI)系统，这是一种综合型检测系统，它 对光学，运动控制，图像处理，软件设计等都具有较高的要求，体现了各学科知 识的交叉融合，具有极高的研究价值。本文的主要工作如下。 首先，介绍了 LCD 线路检测系统的组成原理，根据系统需求对各个模块进行 了详细的分析和设计，并制作了 LCD 线路检测硬件系统。 其次，研究了缺陷检测与定位算法，包括标准模板图像的建立过程，图像滤 波去噪，以及连通域标记方法；其中重点讨论了定位点的计算与二值图像轮廓追 踪技术；实现了缺陷的检测与定位。 然后，研究了缺陷的分类识别方法，在介绍缺陷特征与相关理论的基础上， 重点讨论了怎样利用方差和连通域分析来进行缺陷的分类识别，并通过实验证实 了该方法的可行性。 最后，介绍了检测软件的基本框架，展示了软件的图形用户界面，讨论了软 件底层图像采集与电机控制的实现，并简单介绍了本系统图像算法所依赖的 OpenCV 算法库。 本文的特点在于：运动平台采用直线电机驱动，它比传统的旋转电机加丝杆 的方式具有更高的稳定性和定位精度；算法的验证和实现都基于 OpenCV，与传 统的先基于 MATLAB 验证再移植其它平台实现的开发方式相比，极大的提高了 软件开发效率；另外，本文提出的基于连通域分析的 ITO 线路缺陷分类方法，据 我们所知，国内未见相关报道。 关键词：液晶屏，ITO 线路，自动光学检测，缺陷分类识别，连通域分析 I ABSTRACT ABSTRACT Nowadays, the LCD screen has been more widely used with the development of modern information display technology, however, the LCD panel production process is complex and there are many different kinds of defects, combined with the performance of todays inspection equipment, it is difficult to detect the defects automatically in the production process of the liquid crystal screen, so the defects are mainly detected by