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废水处理进化TMAH
R e p o r t O u t l i n e
簡報大綱
資源活化與再生
工業水處理技術再進化
R e p o r t O u t l i n e R e p o r t O u t l i n e
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• 晶圓廠用水趨勢及廢水處理方式演進
• 廠務及生產機台節水措施– 減少廢水, 減少處理費
• 廢水處理進化及案例分享 - 回收水處理技術
• 終端廢水處理– 再生水
TSMC Property
晶圓廠用水趨勢
製程世代與單位用水量趨勢
━ 單位用水量因先進製程的複雜度增加明顯隨之上升
單位面積耗水量 1.9x
1.6x
1.1x
1x
TSMC Property
晶圓廠用水趨勢
台積電的節水目標
━ 節水目標
● 面對先進製程用水量增加趨勢，設定減量目標控制用水量 。
● 目標：2025年，單位晶圓自來水用量減少20% 。
300mm Fab 節水 roadmap
約 4.5% 全台工業總用水量
(約 0.45% 全台總用水量)
35,000 CMD
約 3.6% 全台工業總用水量
118,000 (約 0.36% 全台總用水量)
Remarks: 農用水比例佔全台總用水量之72% ，其次為民生用水18％、工業用水10％ TSMC Property
晶圓廠用水趨勢
台積電的節水計畫
━ Water Reduction in Y2025
群組 5 ：政府提供之再生水(6%) 群組4 ：製程節水(5%)
2025年使用政府提供之再生水10,000噸/天 。 2025年製程節水25,000噸/天，
相當於自來水減少8,000噸/天。
Government 5 Waste Water
recycle water Reclaim System
(政府提供再生水) (放流再生水)
4 Process Waste Water
City Water
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