《J BT10439-2004-单晶炉TDR系列直拉法单晶炉》.pdfVIP

ICS 25.160.10 x 61 i 中华人民共和国机械行业标准 JB/T 10439-2004 单 晶 炉 TDR系列直拉法单晶炉 Crystal growing furnaces TDR-series crystal growing furnaces by Czochralski method 2004-03-12发布 2004-08-01实施 中华人民共和国国家发展和改革委员会 发布 JB/f10439- 2004 目 次 前言 ..‘t-..……，..-.--...……，一 ，...…… ，-..-…… ，.，...一 Ill l 范围 .二t-.. ..一 ，.t... -一 ，..…‘.… …‘…，...-一，… …1 2 规范性引用文件..……t .-…… ‘.… ，… ，.… ，二，，-.-…… ，，，..… …‘1 3 术语和定义.-..… “._.，..二..‘-.-..…… 二卜.‘…‘…，… ….卜.- ..一 t一‘，一 1 4 产品分类….‘……t...二“-一 ，...一 .‘-二，二，.……..‘….‘...，，，二.一‘2 4.1 品种和规格. _..t -… ‘ _一 ，..…“ ._. ..- “‘_. .一 2 4.2 型号:…… _.…，.， …… ..‘一 ，，-…… ，，二..‘2 4.3 主要参数一，.二…‘…，，-…… ，，一 ，.，..‘..… … ，，… …，一 ..‘… ，一 2 5 技术要求-一 t... … …，，-.一 .‘… 价，. .…，，，..…，·····-3 5.1 一般要求...一..‘.. ..一 二‘价..….卜二‘卜... .. .……价……，..… .，‘，.，...一 3 5.2 对设计和制造的补充要求，.，-… ….卜...-..… ，.… …卜._ … …，..-3 5.3 性能要求 _ 二，.，，，…t.-- …，…，.…… ‘.……，…，.，，.一 ‘. ..‘..，，.，，.…..4 5.4 成套要求.…… ，.，..…，… …，.，，，，，.，-… …，，二，- .… …，5 6 试验方法-… …，.二.‘……价.，，.，.…， … …，，，，，，一，二..‘二 ，.，，，.-二5 6:1压升率的测量-.-.. …二..- -一 ，..--.-5 6.2 炉温均匀度的测量.，.，，.… … ‘.…，， .… ，… …，5 6.3 加热能力和热炉抽气能力试验价‘- 一 一一6 6.4 运动参数相对偏差的测量 ..……二卜.卜..… … ‘.… 卜二卜，...-.… ‘一”卜6 6.5 速度百分偏差的测量二 ， .价.- -.…价，，.“ 价一 一一一 一一一价 一 一一 ，6 6.6 爬行量的测量 二 价.， “ 二价一 ~ ~ 一 一价 一~~ ... .. .一 .一.一 6 6.7 工业拉晶试验… …，...二.‘， ...… … ， …… .6 6.8 晶体直径偏差的测量 -..… 价 ...……_.… … ，… … .，‘价 … … ，一 ..‘……，.，...6 7 检验规则...-…… t二‘ ，..…_.‘.… ，. … …，..‘ ..……，.… ..‘..… ...6 7.1 单晶炉的出厂检验项 目.. 一 ，，-.. … …， .‘..一 ，. .……，….‘“一 ，6 7.2 单晶炉的型式检验项 目…… .卜卜.-...，，.，.卜…… 卜卜..一 ，.一卜:.卜 .…‘ ‘7 8 标