激光剪切干涉三维形貌测量.pdf

第４８卷　 第４期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４８，Ｎｏ．４ 　 ２０１８年４月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ａｐｒｉｌ，２０１８ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１８）０４０４６４０５ ·激光应用技术 · 激光剪切干涉三维形貌测量 刘光明，余学才，任华西，马　飞，鲁楷锋 （电子科技大学光电信息学院，四川 成都６１００５４） 摘　要：针对物体表面的三维形貌测量问题，提出了一种基于激光剪切干涉条纹的三维形貌测 量方法。该方法利用激光剪切干涉原理产生密集的干涉条纹，将干涉条纹阵列照射到待测表 面。利用四步相移法和解包裹算法求解被测物体表面的连续相位，进而获取曲面表面高度信 息，最后建立被测物体三维形貌。本文对楔形薄片和木块进行了测试，初步实验结果证明了该 方法原理的可行性。该方法可以与显微镜相配合，进一步发展可用来测量微结构３Ｄ形貌，在 微测量领域具有很大的应用前景。 关键词：激光；剪切干涉；四步相移；相位解包裹；三维形貌测量 中图分类号：ＴＮ２４９　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１８．０４．００９ Ｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｓｈａｐｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｍｅｔｈｏｄｂａｓｅｄ ｏｎｌａｓｅｒｓｈｅａｒｉｎｇｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ ＬＩＵＧｕａｎｇｍｉｎｇ，ＹＵＸｕｅｃａｉ，ＲＥＮＨｕａｘｉ，ＭＡＦｅｉ，ＬＵＫａｉｆｅｎｇ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ，ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＣｈｉｎａ，Ｃｈｅｎｇｄｕ６１００５４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｓｏｌｖｅｔｈｅｐｒｏｂｌｅｍｏｆ３Ｄｓｈａｐｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ，ａｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｓｈａｐｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｍｅｔｈｏｄ ｂａｓｅｄｏｎｌａｓｅｒｓｈｅａｒｉｎｇｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｆｒｉｎｇｅｓｗａｓｐｒｏｐｏｓｅｄＴｈｅｍｅｔｈｏｄｕｓｅｓｌａｓｅｒｓｈｅａｒｉｎｇｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｔｏｐｒｏｄｕｃｅ ｄｅｎｓｅｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｆｒｉｎｇｅｓ，ａｎｄｔｈｅｆｒｉｎｇｅｓａｒｅｐｒｏｊｅｃｔｅｄｏｎｔｏｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｔｏｂｅｍｅａｓｕｒｅｄＢｙｅｍｐｌｏｙｉｎｇｔｈｅｆｏｕｒｓｔｅｐ ｐｈａｓｅｓｈｉｆｔｍｅｔｈｏｄａｎｄｔｈｅｐｈａｓｅｕｎｗｒａｐｐｉｎｇａｌｇｏｒｉｔｈｍ，ｔｈｅｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｐｈａｓｅｏｆｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｉｓｃａｌｃｕｌａｔｅｄ，ａｎｄｔｈｅ ｈｅｉｇｈｔｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｆｃｕｒｖｅｄｓｕｒｆａｃｅｉｓａｃｑｕｉｒｅｄＦｉｎａｌｌｙ，ｔｈｅ３ＤｓｈａｐｅｏｆｔｈｅｏｂｊｅｃｔｉｓｒｅｓｔｏｒｅｄＩｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ，ａｗｅｄｇｅ ｃｈｉｐａｎｄａｗｏｏｄｗｅｒｅｔｅｓｔｅｄ，ａｎｄｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓｐｒｏｖｅｔｈｅｆｅａｓｉｂｉｌｉｔｙｏｆｔｈｉｓｍｅｔｈｏｄＣｏｍｂｉｎｅｄｗｉｔｈａｍｉｃｒｏ ｓｃｏｐｅ，ｔｈｉｓｍｅｔｈｏｄｃａｎｂｅｄｅｖｅｌｏｐｅｄｔｏｍｅａｓｕｒｅ３ＤｓｈａｐｅｏｆｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒａｌＩｔｈａｓａｇｒｅａｔｐｒｏｓｐｅｃｔｉｎｔｈｅｆｉｅｌｄｏｆｍｉ ｃｒｏｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｌａｓｅｒ；ｓｈｅａｒｉｎｇｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ；ｆｏｕｒｓｔｅｐｐｈａｓｅｓｈｉｆｔ；ｐｈａｓｅｕｎｗｒａｐｐｉｎｇ；３Ｄｓｈａｐｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ １　引　言 要有全息干涉法、散斑干涉法、白光干涉和光纤干